192181. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés szilárd testek vizsgálatára a szekunder részek energia szerinti elemzésével

(19) HU MAGYAR

NÉPKÖZTÁRSASÁG

SZABADALMI

LEÍRÁS

«1)192 181

SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY B

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

A bejelentés napja: (22) 83. 07. 29. (21) 2705/83

A közzététel napja: (41) (42) 1985. 05. 28. Megjelent: (45) 1989. I. 31.

Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZ04

GOIN 23/22, H 01 J 49/44

Találmányi*^, Szabadalmi Tár. • JVt-AJDONA

Feltalálóik): (72) Szabadalmas: (73)

BEHRINGER Tibor, 21%, MARTON Dénes, 14%, GIBER János, Budapesti Műszaki Egyetem, Budapest 11%, BORI Lajos, 11%, BÁLINT József, 6%, BÁLINT István, 2%,

FÁBIÁN István, 20%, MAKÓ Margit, 10%, SÓLYOM András, 5%,

Budapest * 57

(54) ELJÁRÁS ÉS BERENDEZÉS SZILÁRD TESTEK VIZSGÁLATÁRA A SZEKUNDER RÉSZEK

ENERGIA SZERINTI ELEMZÉSÉVEL

(57) KIVONAT

Ismeretes, hogy a SIMS (szekunder ion tömegspektrométeres) vizsgálatok a szilárd testek felületi viszonyairól megbízható spektrumot szolgáltatnak a szekunder ionok (2) intenzitásának feldolgozása révén a fajlagos tömeg<->intenzitás vonatkozásában.

A találmány tárgya eljárás és berendezés szilárd testek vizsgálatára a szekunder részek energia szerinti elemzésével.

Az általunk javasolt eljárás során, vizsgált mintát (7) 1,10 keV energiájú primer ionokkal (1) bombázunk, a mintából (7) kilépő szekunder ionokat

(2) quadrupole (4) tömegszétválasztóval fajlagos tömeg<->intenzitás vonatkozásában elemzünk, miközben a minta (7) és a quadrupole (4) közé energiaanalizátort (3) helyezünk el és a vizsgálat során a szekunder ionokat (2) először ezen energiaanalizátoron (3) bocsájtjuk át és energia szerint elemezzük, majd csak ezután engedjük őket a quadrupole

(4) bemenetére, ahol az intenzitás szerinti elemzést végezzük el.

A találmány tárgyát képezi továbbá egy berendezés is, amellyel a fenti eljárás megvalósítható.

A berendezés szokásos ionágyút és quadrupolt

(4) tartalmaz, valamint a minta (7) és a quadrupole (4) között energiaanalizátor (3) helyezkedik el, amely elektromos tápegységhez csatlakozik, és a tápegységek kimenő jelei központi vezérlőegység által meghatározott idő függvények.

ábra