191860. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés nemlineáris kétpólusok, előnyösen félvezető struktúrák admittanciájának meghatározására
1 191 860 2 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás azzal jellemezve, hogy az üzemkapcsoló K’ egyik - nagyfrekvenciás kapacitás mérés — állásában a demodulált jelet folyamatosan átlagoljuk, az üzemkapcsoló K’ másik — mélykiürítcses kapacitás mérés — állásában pedig egy analóg MOS-kapcsoló segítségével a frekvenciaosztott hullámforma magas jelszintű állapotában a jelátadagoló mintatartó bemenetére feszültségmintát kapcsolunk. 3. Berendezés nemlienáris kétpósulok, előnyösen félvezető struktúrák admittanciájának meghatározására, valamint az 1. vagy 2. igénypont szerinti 'eljárás megvalósítására, azzal jellemezve, hogy láncbakapcsolt mérőátalakítója (20), detektáló részegysége (60) és megjelenítője (70) van, a mérőátalakító (20) egy vagy két bemenetére szinuszos mérőjel-generátor (30), valamint előfeszítő részegység (50) egy-egy kimenete (dl ,d2) a mérőátalakító (20) egy további bemenetére és az előfeszítő részegység (50) bemenetére hullámformagenerátor (40) kimenete (j) a hullámformagenerátor (40) bemenetére pedig a szinuszos mérőjel-generátor (30) kimenete (e) csatlakozik, a berendezés mérőbemenetét a mérőátalakító (20) további két bemenete képezi, melyekre a mérendő kétpólus (10) két kivezetése (b,c) csatlakozik. (3. ábra) 4. A 3. igénypont szerinti berendezés azzal jellemezve, hogy a hullámformagenerátor (40) háromfázisú, melynek további két kimenete (h,i) a detektáló részegység (60) két további, harmadik és negyedik bemenetére csatlakozik. (3. ábra) 5. A 3. vagy 4. igénypont szerinti berendezés azzal jellemezve, hogy a mérőátalakító (20) két mérőbemenete lebegő kialakítású induktív vagy galvanikus csatolással, az induktív csatolás transzformátoros vagy rezgőkörös. 6. A 3-5. igénypontok bármelyike szerinti berendezés azzal jellemezve, hogy a mérőátalakítónak (20) két, — első és második — láncbakapcsolt és egy további harmadik monostabil multivibrátora (21,22,23), valamint az első és a második monostabil multivibrator (21-22) kimenetére (jl,j2) kapcsolt VAGY-kapuja (24),továbbá erősítője (26) van, a VAGY-kapu (24) kimenetére (j3) és az erősítő (26) kimenetére (í) analóg MOS-kapcsoló (25) csatlakozik, a mérőátalakító (20) öt bemenetét a mérendő kétpólus (10) két kivezetése (b,c) az, előfeszítő részegység (50) két kimenete (dl d2) és a hullámformagenerátor (40) kimenete (j) képezi. 7. A 6. igénypont szerinti berendezés azzal jellemezve, hogy az erősítő (26) műveleti erősítőből (28) és például három mérőellenállásból (R1,R2,R3) egy üzemkapcsolóból (K’), egy bemenő kpndenzátorból (27), két visszacsatoló ellenállásból (R4,R5), egy kimenő-kondenzátorból (29) és egy kimenő-ellenállásból (R6) áll, az erősítő (26) bemenetét a bemenőkondenzátor (27) egyik kivezetése (bl) kimenetét pedig a kimenőkondenzátor (29) és a kimenő-ellenállás (R6) közös kivezetése (f) képezi. (4. ábra) 8. A 3—7. igénypontok bármelyike szerinti berendezés azzal jellemezve, hogy a szinuszos mérőjelgenerátornak (30) láncbakapcsolt nagyfrekvenciás generátora (31), fázishasítója (32) és fázistolója (33), erősítője (34), valamint feszültségkövetője (35) van, a szinuszos mérőjelgenerátor (30) két vagy három kimenetét (e,dl,d2) a nagyfrekvenciás generátor (31) kimenete és a feszültségkövető (35) egy vagy két kimenete képezi. (5. ábra) 9. A 8. igénypont szerinti berendezés azzal jellemezve, hogy a feszültségkövető (35) kimenete lebegő kialakítású, induktív vagy galvanikus csatolással, az induktív csatolás transzformátoros vagy rezgőkörös. (5. ábra) 10. A 3—9. igénypontok bármelyike szerinti berendezés azzal jellemezve, hogy a hullámformagenerátornak (40) láncbakapcsolt komparátora (41) és frekvenciaosztója (42) van, a hullámformagenerátor (40) bemenetét a szinuszos mérőjel-generátor (30) első kimenete (e), kimenetét (j) pedig a frekvenciaosztó (42) kimenete képezi. (6. ábra) 11. A 10. igénypont szerinti berendezés azzal jellemezve, hogy a hullámformagenerátornak (40) két kimenete (el ,e2),kimenetre kapcsolt emitterkövetője (43,44) van, a hullámformagenerátor (40) további két kimenetét (h,i) az első és a második emitterkövető (43,44) egy-egy kimenete képezi. (6. ábra) 12. A 3—11. igénypontok bármelyike szerinti berendezés azzal jellemezve, hogy az előfeszítő részegységnek (50) két első és második műveleti erősítője (51,52) és ezek kimenetére (ml ,nl ) láncbakapcsolt nagyfeszültségű műveleti erősítője (54), és sávszűrője (55), valamint a másolik műveleti erősítő (52) kimenetére (ni) kapcsolt analóg MOS-kapcsolója (53) van, az előfeszítő részegység (50) három bemenetét a két műveleti erősítő (51,52) egy-egy bemenetére kapcsolt egyenfeszültségű tápforrás egy-egy kimenete (m,n) és az analóg MOS-kapcsoló (50) bemenetére kapcsolt hullámformagenerátor (40) első kimenete (j) képezi. (7. ábra) 13. A 3—12. igénypontok bármelyike szerinti berendezés azzal jellemezve, hogy a detektáló részegységnek (60) láncbakapcsolt erősítője (61), emitterkövetője (62), demt dulátora (63), valamint egymással párhuzamosan kapcsolt Reed-reléje (64) és analóg MOS-kapcsolója (65), továbbá aluláteresztő szűrője (66), feszültségkövetője (67), valamint első és második műveleti erősítője (68,69) van, a detektáló részegység (60) öt bemenetét a mérőátalakító (20) két kimenete (f,g), a háromfázisú hullámformagenerátor (40) két kimenete (h,i), valamint Reed-relé (64) kapcsoló feszültségforrás kimenete (o), kimenetét (k) pedig a második műveleti erősítő (69) kimeneté képezi. (8. ábra) 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 8 db ábra
