191830. lajstromszámú szabadalom • Félvezetős mérőátalakító nyomás és erő méréséhez, valamint eljárás annak előállítására
1 2 gcre* belső terébe gyűrű (2) valamint a gyűrűhöz (2) annak fb rátát fedő helyzetben deformációérzékeny ellenállásokkal kialakított integrált áramkört hordozó félvezető test (1) van rögzítve, azzal jellemezv e , hogy a gyűrű (2) kerámia anyagú, a fémtokot (6) a kerámia gyűrű (2) félvezető testet (1) hordozó felülete felől fémlap zárja le, a fémtok (6) és a fémlap (8) egymással szomszédos felületei lencse alakú üreget (10) határolnak, az üregben (10) az összezáró fémtok (6) és fémla (8) felületek között körkörösen rögzített, feszített helyzetű fémfólia (5) van, amely fém fólia (5) az üreget (10) két egymással független térre osztja, a fémlapban (8) az üreg (10) egyik terébe nyíló központos helyzetű fémlap-furat (9) van, a fémfóliának (5) a félvezető test (1) félő eső felületére tüsketartó (4) és a tüsketartó (4) végére pedig kerámia tüske (31 van rögzítve, amely kerámia tüske (3) a fémtokban (6) kialakított és a fémlap-furattal (9) szemben az üreg (10) másik teréből nyíló nyíláson (7) keresztül a félvezető testre (1 ) támaszkodik. 2, Eljárás az 1. igénypont szerinti félvezetős mérő-191.830 átalakító előállítására, azzal jellemezve, hogy a nyílással (7) ellátott fémtok (6) és a fémtok 5 (6) lefedésére szolgáló, íémlap-furattál (9) ellátott fémlap (8) közé tüsketartón (4) rögzített kerámia tűs-' két (3) hordozó fémfóliát (5) a tüsketartónak (4) a fémtok (6) nyílásába (7) központos illesztéssel elitelyezzük, a fémfőliát (5) a fémtok (6) pereménél körkörösen megfeszítve rögzítjük, majd a fémlapot (8) • O széleinél a fémtokhoz (6) légcserementesen hozzázárva rögzítjük, és ezután egymást követően, felváltva a fémlap-furaton (9), ill. a fémtok (6) nyíláson Í7) keresztül kívánt üzemi nyomásnak megfelelő túl terhelési nyomású nyomáshordozó közeg utján a fémfóliára (5) nyomás kifejtésével a fémtok (6), valamint a ’ ' fémlap (8) egymással szemben fekvő felületeit egymástól eltávoütva és maradandóan deformálva a lencse alakú üreget (10) alakítjuk ki, ezt követően a nyomást megszüntetjük és a femtokba (6) ismert módon a félvezető testet (1) hordozó kerámia gyűrűt (2X ki- 20 vezetéseket (11), panelt (12) és zárólapot (13) rögzítjük. 1 db ábra Kiadja, Országos Találmányi Hivatal Felelős kiadó: Himer Zoltán KÓDEX 4
