191830. lajstromszámú szabadalom • Félvezetős mérőátalakító nyomás és erő méréséhez, valamint eljárás annak előállítására
(19) HU MAGYAR népköztársaság SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY A bejelentés napja: (22) 1983. ív. 7. (21) 1193/83 191830 B Nemzetközi osztáfyfelzet: (51) NSZ04 (11) G 01 L 9/06 HOI L41/04 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A közzététel napja: (41) (42) 1986.VII. 28. Megjelent: (45) 1988. X.31. Találmán^^s Szabadalmi Tár. ' ^ .tulajdona. Feltalálóik): (72) Szabadalmas: (73) Almási István ,40%, Berkecz János, 25%, Bársony István. 25%, Orosz Lajos, 10%, Budapest Mikroelektronikai Vállalat, Budapest (54) Félvezetős mérőátalaKftó nyomás és erő méréséhez, valamint eljárás annak előállítására (57)K.IVONAT A találmány tárgya félvezetős mérőátalakító nyomás és erő méréséhez, amely piezoredsz ti vitás elvén működve a mérendő mennyiség nagyságával arányos villamos jel előállítására alkalmas, s mint ilyen főként erő és nyomás távadók érzékelőjeként alkalmazható. A találmány szerinti félvezetős mérőátalakítónak fémtokja (6), a fémtok (6) hengeres belső terében gyűrűje (2) valamint a gyűrűhöz (2) annak furatát fedő helyzetben deformációéizékeny ellenállásokkal kialakított integrált áramkört hordozó félvezető test (1) van rögzítve. A mérőátalakító lényege, hogy a gyűrű (2) kerámia anyagú, a fémtokot (6) a kerámia gyűrű (2) félvezető testet hordozó felülete felől fémlap (8) zárja le, a fém tok (6) és a fémlap egymással szomszéd dós felületei lencse alakú üreget (10) határolnak az üregben (10) az összezáró fémtok (6) és fémlap (8) felületek között körkörösen rögzített feszített helyzetű fémfólia (5) van, amely fémfólia (5) az üreget (10) két egymástól független térte osztja, a fémlapban (8) az üteg (10) egyik terébe nyíló központos fii felé eső felületére tüsketartó (4) és a tüsketartó (41 végére tokban (6) kialakított és a fémlap-furattal (9) szemben az üreg (10) másik teréből nyíló nyíláson (7) keresztül a félvezető testre (1) támaszkodik. A találmány szerinti eljárás lényege, hogy a mérőátalakító összeszerelése során a nyílással (7) ellátott fémtok (6) és a fémlap-furattal (9) ellátott fémlap Ëkôzé a tüsketartón (4) rögzített kerámia tüskét hordozó fémfáliát (5) a tüsketartónak (4) a fém(6) nyílásába (7) központos illesztéssel elhelyezzük, a fémfóliát (5) a fémtok (6) pereménél körkörösen megfeszítve rögzítjük, a fémlapot (8) a fémtokhoz Sa szélénél hozzázárva légcseiementesen rögzítjük, ;zt követően felváltva a fémlapnyomásnak megfelelő túlterhelési nyomású nyomáshordozó közeg útján a fémfóliára (5) kifejtett nyomással a fémtok (6) és a fémlap (8) egymással szembenfekvő felületeit egymástól eltávolítva és maradandóan deformálva alakítjuk ki a lencse alakú üreget (10), majd a nyomást megszüntetve ismert módon szereljük be a többi szerkezeti elemet.
