191712. lajstromszámú szabadalom • Mágneses katódporlasztó berendezés és ehhez való forgatható porlasztó katód
1 19I.7I2 I csőalakú elemben (21 ) hosszirányban helyezkedik el. 10. A 6. igénypont szerinti forgatható porlasztó kitód, azzal jellemezve, hogy a c9Őalakű _ elembe(2l), annak hosszirányában permanens mágne- ^ sek (45) vannak beszerelve. 11. Mágneses katódporlasztó berendezés, amely egy vákuum alá helyzehető bevonó kamrából és az 1. igénypont szerinti forgatható katódból áll, a z z a I ellemezve, hogy a katód egy hosszúkás, engeres, csőalakú elemből (21) áll, amely a bevonókvmába (11) vízszintesen van beszerelve, a csőalakú elembe (21) mágneses eszközök vannak beszerelve, a csőalakú elemen (21) körben, egymáshoz képest térközzel és párhuzamosan több különálló, aporlas/tandó bevonóanyagot tartalmazó, hosszirányban húzódó target szalag (31) van elrendezve, a target szalagokat (31) a csőalakű elemhez, (21 ) eltávolíthatóan rögzítő szerve van, továbbá a csöalakú elemet (2 I )hossztengplye körül forgatható szerve van, amely által a kiválasztott target szalag (31) a mápreses eszközzel szembeni porlasztó helyzetbe hozható, valamint a bevonandó szubsztrátumot (S) a bevonó kamrában (11) vízszintesen tartó és a mágneses eszköz, előtt továbbító szerve van. 3 db ábra Országos Találmányi Hivatal F.k.: Himer Zoltán 4 Kódex
