191373. lajstromszámú szabadalom • Eljárás különféle anyagok SIMS vizsgálatára szkenelő primer atomsugár használatával

(19) HU

SZABADALMI

"»191 373

MAGYAR

NÉPKÖZTÁRSASÁG

LEÍRÁS

SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY

B

Nemzetközi osztályjelzet: <51 ) NSZO4 G 01 N 23/22; H 01 J 37/256

0

A bejelentés napja: (22) 83. 07. 29.

(21 ) (2704/83)

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

A közzététel napja: (41 ) (42) 85.05.28. Megjelent: (45) 88. 07. 20.

í Szabadalmi Tér. ' j AJPO

Feltaláló(k): (72)

Behringer Tibor, 21 %, Hárs György, 21 %, villamosmérnökök, Marton Dénes, 14 %, Fábián István, 20 %, fizikusok, Giber János, vegyészmérnök, 11 %, Budapest, Bálint József, műszerész, 3 %, Makó Margit, műszaki tanár, 10 %, Budapest

Szabadalmas: (73)

Budapesti Műszaki Egyetem, Budapest

(54) ELJÁRÁS KÜLÖNFÉLE ANYAGOK SIMS VIZSGÁLATÁRA SZKENELŐ PRIMER ATOMSUGÁR

HASZNÁLATÁVAL

(57) KIVONAT

A találmány tárgya eljárás különféle anyagok szekunder ion tömegspektrométeres (SIMS) vizsgálataira szkenelő primer atomsugár (8) használatával.

A találmány szerinti megoldás elsősorban szilárd szigetelő anyagok SIMS vizsgálatára alkalmas hagyományos SIMS berendezéssel.

A SIMS vizsgálatok során a mintát (2) különféle primer ion sugárral (1) „bombázzák” és az ezen „bombázás” hatására a mintáról (2) kilépő szekunder ionok (3) képezik a vizsgálat tárgyát.

Elektromosan szigetelő minta (2) ionokkal történő bombázásakor a minta (2) feltöltődése következtében problémák jelentkezhetnek.

A találmány szerinti eljrás a jelzett problémák kiküszöbölésére a mintát (2) nem primer ion sugárral (1), hanem ugyanolyan anyagú és energiájú primer atomsugárral (8) bombázza, olymódon, hogy megfelelő, egyszerű felépítésű, vákuumon kívüli mechanikus szerkezet alkalmazása révén lehetőség van szkeneléses mérésre is.

Az eljárást megvalósító berendezés működését a 2. számú ábrán követhetjük nyomon.

A hagyományos primer ion sugarat (8) olyan ütközési téren (5) vezetjük keresztül, ahol a primer ion sugarat (1) alkotó printer-ionok rezonáns töltéscsere révén, töltésüket elvesztve, változatlan energiájú primer atomsugárként (8) haladnak a mintára (2).

2. ábra