190986. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nedvesség- és/vagy gőzérzékeny interferenciatükör (elszűrő) vagy interferenciaszűrő (sávszűrő) előállítására, valamint eljárás és berendezés levegőben vagy más gázban levő relatív nedvességtart és/vagy gőztartalom, illetve ezek változásainak mérés
190986 2 A találmány szerinti berendezés előnyei az ismert megoldásokkal szemben, hogy alkalmas széles relatív nedvességtartalom kimutatására 0-tól 100%-ig. A nedvesség- és/vagy gőztartalom érzékelése sokkal gyorsabb az ismert megoldásokhoz képest. A találmány szerinti berendezés lehetőséget biztosít szélesebb hőmérsékleti tartományban történő mérésekhez. A berendezés érzékenysége növelhető azáltal, hogy a nedvességérzékeny interferenciatükrön vagy interferenciaszűrőn a fénynyalábot többször vezetjük át. A találmány szerinti berendezéssel végzett mérések reprodukálhatósága és hosszú idejű stabilitása nagymértékben növelhető. A szórt fénnyel szemben az érzékenység nagymértékben csökkenthető. A találmány szerinti berendezés pontossága az analóg vagy digitális szélsőértékbeállító egységgel nagymértékben növelhető. A nem kívánatos - pl. detektor és fényforrás - változások hatásait nagymértékben csökkenti. Optikai eszközökkel végzi a nedvesség- és/vagy gőztartalom meghatározását. Kis energiaigényű. A berendezés korróziós hatásokkal szemben nagy ellenállást mutat, és az eddig ismertekhez képest gyorsabb működésű, valamint pontosabb mérést tesz lehetővé. A mérendő térben csak a nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferencia tükröt vagy interferenciaszűrőt kell elhelyezni. A berendezés nagy, hosszú idejű stabilitással rendelkezik. A berendezés gázkromatográf detektorként is alkalmazható. Gázkromatográfként alkalmazva áramló gázban a mérés eredménye független a gázáramlás sebességétől, és lehetővé teszi a működés gyorsaságának fokozását. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás nedvesség- és/vagy gőzérzékeny interferenciatükör (élszűrő) vagy interferenciaszűrő (sávszűrő) előállítására, amelynek során átlátszó hordozóra váltakozva kis és nagy törésmutatójú, célszerűen szilíciumdioxid, illetve titándioxid rétegeket viszünk fel vákuumpárologtatással, azzal jellemezve, hogy a vákuumpárologtatás kezdetén az átlátszó hordozót 300-350 °C-ra melegítjük, előnyösen X/4 vastagságú rétegek felvitelét kezdjük meg, majd a hordozó hőmérsékletét a párologtatás befejezéséig fokozatosan 400-450 °C-ig növeljük, miközben a párologtatást előnyösen 5-10-10~4 mbár nyomás mellett 1-5-10"10 m/s sebességgel végezzük. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzaljellemezve, hogy az átlátszó hordozóra felvitt előnyösen X/4 vastagságú rétegekre X/2 egész számú többszörösének megfelelő vastagságú közbenső réteget hordunk fel, majd ezen ismét előnyösen X/4 vastagságú rétegeket alakítunk ki. 3. Eljárás levegőben vagy más gázban lévő nedvesség- és/vagy gőztartalom, illetve ezek változásainak mérésére, amelynek során keskenysávú fényforrással fénynyalábot állítunk elő, majd a fénynyalábot közvetlenül vagy közvetve legalább egyszer egy nedvesség- és/vagy gőzérzékeny elemen vezetjük át, ezután az átmenő fénynyalábot érzékeljük és az érzékelt jelet erősítjük, erősítés után pedig közvetlenül vagy közvetve megjelenítjük, azzal jellemezve, hogy nedvesség és/vagy gőzérzékeny elemként interferenciatükröt vagy interferenciaszűrőt alkalmazunk, és ezeknek a nedvesség- és/vagy 5 gőztartalom hatására végbemenő hullámhossz eltolódását a rajtuk átmenő fénynyaláb intenzitásának változásaként érzékeljük, vagy az interferenciaszűrő elforgatásával megkeressük az áteresztési maximumot, és az ehhez tartozó elfordulást érzé- - 10 keljük. 4. A 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy keskenysávú fényforrásként fényemittáló diódát alkalmazunk, a fényemittáló dióda kisugárzott fényének sávszélességét 15 keskenysávú interferenciaszűrő alkalmazásával csökkentjük, a fényemittáló dióda hőmérsékletét hőmérsékletérzékelővel vagy nyitóirányú feszültségét differenciál-erősítővel érzékeljük, majd a felerősített jelet úgy kompenzáljuk, hogy a hőmérséklet- 20 érzékelő felerősitett jelével, vagy a differenciálerősítő kimenő jelével a felerősített jelet összeszorozzuk, és a szorzás eredményéhez az erősített jelet még hozzáadjuk. 5. A 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítási 25 módja, azzal jellemezve, hogy a keskenysávú fényforrás fénynyalábját két részre osztjuk, egyik részét a mérő-fénynyalábot a nedvesség- és/vagy gőzérzékeny interferenciatükrön átvezetjük, majd detektáljuk, a másik részét eltérítjük, az eltérített fény-3° nyalábot érzékeljük, az érzékelt jelet erősítjük, erősítés után a jelet egy referenciajellel összehasonlítjuk, ezután a különbségjelet tovább erősítve egy végerősítő kimenő jelével, a keskenysávú fényforrás fényerősségét stabilizáljuk. 35 6. A 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a fénynyalábot egy fényszaggató tárcsán vezetjük át, melyen párosszámú, pl. két kivágást készítünk, az egyik kivágásba a nedvesség- és/vagy gőzérzékeny interferenciatük- 40 rőt (élszűrőt) helyezzük, így a fényszaggató tárcsán átmenő fény érzékelésével, majd az érzékelt jel felerősítésével és ezt követő digitalizálásával a mérőfénnyel és a referenciafénnyel, takaráskor pedig a szórt fénnyel arányos digitális adatokat állítunk 45 elő, ezután a mérőfény és a szórt fény, illetve a referenciafény és a szórt fény digitális adatainak különbségéből ezen két adat hányadosát képezzük, és a kapott hányadost megjelenítjük. 7. A 3. igénypont szerinti eljárás foganatositási 50 módja, azzal jellemezve, hogy analóg szélsőérték beállításnál az érzékelt felerősített jelet fázisérzékenyen egyenirányítjuk, majd a fázisérzékeny egyenirányító kimenő és referencia jelét összegezzük, ezt az összegezett jelet egy analóg feszültség-szögelfor- 55 dulás-átalakító, pl. forgó tekercses mérőműszer be-. menetére kapcsoljuk, mellyel a nedvessség- és/vagy gőzérzékeny interferenciaszűrő (sávszűrő) szöghelyzetét változtatjuk. 8. A 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítási 60 módja, azzal jellemezve, hogy digitális szélsőértékbeállításnál a felerősített jelet digitalizáljuk, majd egy indítójel hatására egy digitális impulzus szögelfordulás-átalakítóval, pl. léptetőmotorral a nedvesség- és/vagy gőzérzékeny interferenciaszűrőt (sáv- 05 szűrőt) egy tetszőleges irányban Atp szöggel elfor-10
