190986. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nedvesség- és/vagy gőzérzékeny interferenciatükör (elszűrő) vagy interferenciaszűrő (sávszűrő) előállítására, valamint eljárás és berendezés levegőben vagy más gázban levő relatív nedvességtart és/vagy gőztartalom, illetve ezek változásainak mérés
190986 2 tudk. Az ínterferenciatűkör reflexiója és az ezzel összefüggő X/4 vastagságú rétegek száma nem szigorúan kötött, általában 6—10 réteg felvitele elegendő. Interferenciaszürőnél az első interferenciatükör felvitele után, nagy törésmutatójú anyagból' pl. titándioxidból alakítjuk ki a közbenső réteget. A közbenső réteg optikai vastagsága a X/2 vastagság egész számú többszöröse, célszerűen 2-4-szerese. Ezután a párologtatást az első interferenciatükörrel megegyezően a második interferenciatükör elkészítésével fejezzük be. A rétegszám növelésével az interferenciatükörnél (élszűrőnél) meredekebb lesz a felfutó él, interferenciaszűrőnél (sávszűrőnél) pedig kisebb lesz a szűrő sávszélessége. A rétegszerkezet megfelelő porózusságának biztosítása céljából a párologtatás kezdetén az átlátszó hordozót 300-350 °C-ra melegítjük. Ezt a hőmérsékletet a párologtatás befejezéséig fokozatosan 400-450 °C-ig növeljük. A vákuumpárologtatást előnyösen 8 • 10~4 mbar gáznyomás mellett 1-5, előnyösen 1-3 x 10'10 m/s sebességgel végezzük. A találmány másrészt olyan eljárás továbbfejlesztése, amely alkalmas levegőben vagy más gázban lévő nedvességtartalom és/vagy gőztartalom, illetve ezek változásainak mérésére. A továbbfejlesztés, vagyis' a találmány abban van, hogy keskenysávú, például monokromatikus fényforrással fénynyalábot állítunk elő. A fénynyalábot legalább egyszer egy nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferenciatükrön (élszürőn) vezetjük át. Ezután az átmenő fénynyalábot érzékeljük, majd az érzékelt jelet erősítjük és erősítés után például egy forgótekercses mérőműszerrel, (mely nedvességtartalomra van hitelesítve) megjelenítjük. Ha nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferenciaszűrőt (sávszűrőt) alkalmazunk, álékor az interferenciaszűrő hullámhossz eltolódását mérjük. Ezt úgy végezzük, hogy az interferenciaszűrőt a fénynyaláb irányában elforgatjuk és az áteresztési maximumot megkeressük. Célszerű, ha keskenysávú fényforrásként fényemittáló diódát alkalmazunk. A fényemittáló dióda kisugárzott fényének sávszélességét a keskenysávú interferenciaszűrő alkalmazásával csökkentjük. A fényemittáló dióda hőmérsékletét hőmérsékletérzékelővel, vagy nyitóirányú feszültségét differenciál-erősítővel érzékeljük. Ezután a hőmérsékletérzékelő felerősített jelével, vagy a differenciál-erősítő kimenő jelével a nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferenciatükrön (élszűrőn) átvezetett és érzékelt, valamint felerősített jelet kompenzáljuk, majd kompenzálás után megjelenítjük. Célszerű az is, ha a keskenysávú fényforrás fénynyalábját egy féligáteresztő tükörrel két részre osztjuk. Egyik részét a mérő-fénynyalábot a nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferenciatükrön (élszűrőn) átvezetjük és detektáljuk. Másik részét eltérítjük. Az eltérített fénynyalábot ezután érzékeljük és az érzékelt jelet erősítjük. Erősítés után a jelet egy referenciajellel összehasonlítjuk, összehasonlítás után a különbségjelet tovább erősítve egy végerősítő kimenő jelével a keskenysávú fényforrás fényerősségét stabilizáljuk. Célszerű még az is, ha egy keskenysávú fényforrás fénynyalábját egy fényszaggató tárcsán vezetjük át. A fényszaggató tárcsán páros számú, pl. két kivágást készítünk. Az egyik kivágásban nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferenciatükröt (élszűrőt) 5 helyezünk. Az érzékelt jel felerősítésével és ezt követő digitalizálásával a mérőfénnyel és a referenciafénnyel, takaráskor pedig a szórtfénnyel arányos digitális adatokat állítunk elő. Ezután a mérőfény és a szórtfény, illetve a referenciafény és a szórtfény 10 digitális adatainak különbségéből képezzük ezen * u két adat hányadosát és a kapott hányadost megjelenítjük. Célszerű továbbá, ha analóg szélsőérték beállításnál a felerősített jelet fázisérzékenyen egyenirá- 15 nyitjuk. Ezután a fázisérzékeny egyenirányító kimenő és referenciajelét összegezzük. Ezt az összegezett jelet egy analóg feszültség-szögelfordulás átalakító, pl. forgótekercses mérőműszer bemenetére kapcsoljuk. A forgótekercses mérőműszer mutató- 20 jával a nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferenciaszűrő (sávszűrő) szöghelyzetét változtatjuk. Nevezetesen célszerű, ha digitális szélsőérték beállításnál a felerősített jelet digitalizáljuk. Ezután egy indítójel hatására egy digitális impulzus szögelfordulás-álalakítóval, pl. léptetőmotorral a nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferenciaszűrőt (sávszűrőt) egy tetszőleges irányba A<p szöggel elforgatjuk. Ezen új szöghelyzetben az átmenő fényt detektáljuk és kijelezzük. Ezt követően a nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferenciaszűrőt A<p szöggel 0 újabb szöghelyzetbe állítjuk. Ezen újabb szöghelyzetben megvizsgáljuk, hogy a detektált fényintenzitás nagyobb-e az utóbbi szöghelyzetben, mint az azt megelőző szöghelyzetben volt. Ha igen, akkor a következő szögelforditást azonos, ha nem, akkor 55 ellentétes irányba végezzük. Célszerű még az is, hogy digitális szélsőérték egyik beállításánál a nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferenciaszűrőn (sávszűrőn) két kissé eltérő hullámhosszú fénynyalábot vezetünk át és a két 40 fénynyalábot külön-külön detektáljuk. A szélsőérték másik beállításánál két hullámhosszban kissé eltérő tulajdonságú nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferenciaszűrőt (sávszűrőt) alkalmazunk. Ezeket együtt mozgatjuk és a rajtuk átvezetett két 45 fénynyalábot külön-külön detektáljuk. A két detektált jel különbségével egy szervorendszert vezérelünk és énnek segítségével az áteresztési maximumhoz tartozó szögértéket beállítjuk. A találmányt részletesebben a rajz alapján ismer- 50 tétjük, amelyen a találmány szerinti berendezés néhány példakénti kiviteli alakját tüntettük fel. A rajzon az 1. ábra a találmány szerinti berendezés egy példakénti kiviteli alakja; a 55 2. ábra a nedvesség és/vagy interferenciaszűrő. egy példakénti kiviteli alakja; a 3. ábra a keskenysávú fényforrás emissziós görbéje a hullámhossz függvényében; a 4. ábra az aluláteresztő nedvesség és/vagy gőzér- 60 zékeny. interferenciatükör transzmissziós görbéi a hullámhossz függvényében; az 5. ábra a. felüláteresztő nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferenciatükör transzmissziós görbéi a hullámhossz függvényében ; a 65 — 4
