190855. lajstromszámú szabadalom • Berendezés szilárd anyagú minták ionsugaras megmunkálásához és ionforrás a berendezéshez

(19) HU

MAGYAR

NÉPKÖZTÁRSASÁG

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

SZABADALMI

LEÍRÁS

SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY

(21) 3520/83. (22) A bejelentés napja: 1983. 10. 12.

(11) (13)

190855B

Nemzetközi osztályjelzet :

(51) Int. C1.4:

H 01 J 37/08; 37/30

(41) (42) Közzététel napja: 85. 08. 30. (45) A leírás megjelent: 89. 01. 30.

Feltalálóik) : (72)

Szabadalmas: (73)

Barna Árpád oki. villamosmérnök, 70%, Reisinger György oki. gépészmérnök, 20%, Zsoldos Lehel oki. fizikus, 10%, Budapest

MTA Műszaki Fizikai Kutató Intézete, Budapest

(54) BERENDEZÉS SZILÁRD ANYAGÚ MINTÁK IONSUGARAS MEGMUNKÁLÁSÁHOZ

ÉS IONFORRÁS A BERENDEZÉSHEZ

(57) KIVONAT

A találmány berendezés szilárd anyagú minták ionsugaras megmunkálására, célszerűen elektromikroszkópiai minták vékonyítására. A berendezésben a minta (5) két oldalán elhelyezett két ionforrás (II, 12) nincs egymáshoz képest rögzítve, hanem a vékonyítandó minta forgástengelyével (8) egybeeső közös forgástengelyükön kívül, a közös forgóbevezetőre (1) szerelt, ezzel párhuzamos tengelyek (2, 3, 4) körül is függetlenül forgatható és ezek mentén eltolható, ami a célszerűen titánból készült mintatartóval (6) együtt az ionsugár pontos centrálását teszi lehetővé. A mintát érő felesleges hő- és sugárterhelés megszűntetése érdekében alkalmazott ionforrások (II, 12) két, egymással szembefordított Steigerwald-féle elektronágyű fókuszáló elektród rendszerének felelnek meg. Az ionforrásoknak (II, 12), a középen nyílással ellátott anód (33) két oldalán elhelyezett üreges katódja van, és a találmány szerint az jellemzi, hogy az üreges katód mindkét része (31, 32) az anód (33) felőli nyitott oldalán szűkülettel (44), másik oldalán pedig az anód (33) felé benyúló, célszerűen kúpos résszel (45) van ellátva. (1. ábra)

1. ábra

i