190712. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és lézerinterferométer megadott útszakaszon optikai úthossz mérésére
I 190 712 2 (5) egymásra merőleges lineáris polarizációjú fénykomponenseket különít el. 14. A 12. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az interferált fény útjában a polarizációs elem (11) előtt X/4 lemez (13) van elrendezve és az elkülönítő berendezés (5) fénykomponenseket választ külön, amelyeknek cirkuláris polarizációjának elektromos térvektora ellentétes forgási irányú. 15. A 10. vagy 14. igénypont szerinti lézerinterferométer, azzal jellemezve, hogy a lézer (4) cirkulárisán polarizált fénykomponensekel különválasztó elkülönítő berendezés (5) és az egyik különválasztott fény komponens frekvenciáját eltoló berendezés (6) kétfrekvenciás lézer. 16. A 11. vagy 13. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy lineárisan polarizált fénykomponenseket elkülönítő berendezés (5) kétsugaras polarizációs interferométerként van kialakítva, amelynek egyik ágában a fényfrekvenciát eltoló berendezés (6) van. 17. A 16. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a fényfrekvenciát eltoló berendezés (6) elektrooptikai frekvenciamodulátor. 18. A 16. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a fényfrekvenciát eltoló berendezés (6) akusztooptikai frekvenciamodulátor. 19. A 14. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a visszaverő elemek (1, 2) között és a kettőstörőlemez (3) mögött polarizátor (19) van elrendezve. 20. A 9-14. igénypontok bármelyike szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a polarizációs elem (11) polarizátor. 21. A 9-14. igénypontok bármelyike szerinti lézerinterferométer, azzal jellemezve, hogy a polarizációs elem (11) a fénynyalábot két lineáris, egymásra merőleges polarizációjú fény nyalábra felosztó polarizációs fényosztó (11) a fotoregisztráló készülék (8) két fotoelektromos, a fázismérő egységgel (10) összekötött átalakítóból (9) van kialakítva, amelyek egyike a két felosztott nyaláb egyikének optikai tengelyében, másika a másik felosztott nyaláb op-' tikai tengelyében van e'rendezve. 22. A 9-21. igénypontok bármelyike szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a visszaverő elemek (1, 2) a megadott útszakasz távolságában azonos tengelyen egymással szemben vannak, és a kettőstörőlemez (3) pedig X/4 lemez. 23. A 9-21. igénypontok bármelyike szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a visszaverő elemek (1, 2) és (2”) száma legalább három, és zárt törtvonal sarkaiban vannak elrendezve, amely törtvonal megadott útszakaszt alkot. 24. A 23. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a kettőstörőlemez X/2 lemez. 25. A 22. vagy 24. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a visszatérő elemek (1, 2) és (2”) mint részlegesen áteresztő tükörfelületek vannak kialakítva. 26. A 22. vagy 23. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a visszaverő elemek (1, 2) legalább egyike diffrakciós rács (1’), (2’), amely oly módon van elrendezve, hogy a diffrakciós rács (O (2”) egyik elhajlási rendjének fénynyalábtengelye azzal a tengellyel esik egybe, amely a szomszédos visszaverő elemeket köti össze. 27. A 26. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a kettőstörőlemez (3) a diffrakciós rács közelében van elrendezve és két hasznosítható elhajlási rendben a fényhullámok fáziseltolódásának különbsége X/4. 28. A 26. vagy 27. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a diffrakciós rácsok hologramokként vannak kialakítva. 29. A 9-28. igénypontok bármelyike szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a fénynyalábot feltágító optikai rendszert tartalmaz, amely a visszaverő elemek (1), (2) előtt van elrendezve. 30. A 29. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a fotoelektromos átalakító (9) az interferenciakép letapogatására letapogató berendezéssel (21) van ellátva. 31. A 29. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, a 4. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, azzal jellemezve, hogy a fotoregisztráló készülék (8) előtt elrendezett fényosztó elemmel (22) és kiegészítő fotoregisztráló készülékkel (23) van ellátva, ahol a fényosztó elem (22) az interferáló fénynyalábok egy részét elkülöníti és a kiegészítő fotoregisztráló készülék (23) az elkülönített fénynyaláb optikai tengelyében van elrendezve. 32. A 9-31. igénypontok bármelyike szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a fotoelektromos átalakító (9, 24) fotodetektor. 33. A 9-31. igénypontok bármelyike szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a fotoelektromos átalakító (9) mátrix (26) alakban van elrendezve, amely mátrix (26) több fotodetektort (9") tartalmaz, amelyek átkapcsolón (27) keresztül a fázismérő egységre (10) vannak csatlakoztatva. 34. A 9-31. igénypontok bármelyike szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a fotoelektromos átalakító (9, 24) mátrix (26, 26’) alakjában elrendezett több fotodetektort (9\ 24’) tartalmaz, amelyek mindegyike külön fázismérő egységre (10’, 25’) van csatlakoztatva. 35. A 31. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a kiegészítő fotoregisztráló készülék (23) fotodetektorainak legalább egyike a fotoregisztráló készülék (8) legalább egyik fázismérő egységére van kapcsolva. 36. A 9. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a visszaverő elemek (1) és (2) előtt a fénynyaláb párhuzamos eltolását végző berendezés (29) van elrendezve, amely a fénynyalábot párhuzamosan két egymásra merőleges irányba eltolja. 37. A 30. igénypont szerinti lézerinterferométer azzal jellemezve, hogy a fénynyaláb párhuzamos eltolását végző berendezéssel (29) van ellátva, amely a visszaverő elemek (1, 2) előtt van elrendezve és a letapogató berendezéssel (21) van összekötve. 38. A 33. igénypont szerinti lézerinterferométer, azzal jellemezve, hogy a fénynyaláb párhuzamos eltolását végző berendezéssel (29) van ellátva, amely a visszaverő elemek (1, 2) előtt van elrendezve, és az átkapcsolóval (27) van összekötve. 39. A 34. igénypont szerinti lézerinterferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a visszaverő elemek (1, 2) közé iktatott legalább egy, az útszakasz optikai úthoszszát megváltoztató berendezéssel (15), az optikai úthossz ismert értékeinek megfelelő fázisértékeket megadó egységgel (18), valamint számlálóegységgel (12) van kialakít-5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 17
