190413. lajstromszámú szabadalom • Eljárás CR-AU kettősréteg-alakzatok kialakítására maratással

100nfn iilOOnm

NSZ04: C 23 F 1/02

190 413

1. példa.-Au

■Cr

SiO,

2. példa.

Au

Cr

Si Oj

4