189741. lajstromszámú szabadalom • Jelölés félvezetőhordozó automatikus pozicionálásához, valamint eljárás a jelölés előállítására
1 189.741 2 beeső fény-megközelítőleg ismét az eredeti irányba verődik vissza és ezáltal világos optikai felület keletkezik. Ezzel elérhető, hogy a határolandó területet' körülzáró 6 maratási oldalak a kivilágosodott tartómánytól kontrasztdúsan elütnek. ® A találmány szerinti 1 jelölés alkalmazása a félvezetőgyártás technológiai folyamatában előnyökkel jár, ha a jelölés területe mindegyik feldolgozási síkban a képterület megvilágításával egyidejűleg úgy van megvilágítva, hogy utána következő lépések révén ne -jq jöhessen létre réteghalmozódás a jelölés területe fölött, amely a jelölés kontrasztjának gyengüléséhez vezetne. A jelölés területének megvilágításával és előhívásával a mindenkori struktúrasík technológiai rétegének maratása válik lehetővé, míg lakkal történő 15 fedésnél egy következő réteg ráépülése akadályozható meg. Szabadalmi igénypontok 1. Jelölés félvezetőhordozó és hozzárendelt maszk illetve sablon egymáshoz viszonyított automatikus po- «_ zicionálásához optoelektronikus illesztőrendszerrel,i ahol a jelölés, a félvezetőhordozó felületi rétegében létrehozott, előnyösen piramisalakú mélyedésekkel rendelkezik, azzal jellemezve, hojy a mélyedések legalább két, előnyösen egymást merőlegesen keresztező maratási csatornaként (3, 3.1) vannak 30 kialakítva, a csatornák (3, 3.1) hossztengelyükre merőleges, szimmetrikus és egymást periÖdikusan követő eltérő méretű mélyedéseket tartalmaznak, melyeknek szomszédos körvonalélei egymással érintkeznek. 2. Az 1. igénypont szerinti jelölés kiviteli alakja, 35 azzal jellemezve, hogy a maratási csatornák (3, 3.1) mélyedései rövidebb árkokként (4)éshoszszabb árkokként (5) vannak kialakítva, amelyek maratási oldalai (6) durvítottak. 3. A 2. igénypont szerinti jelölés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az oldalak (6) szá- 40 ma a maratási csatornák (3, 3.1) hossztengelyeiben kettéosztott hosszabb árkokkal (5) van megnövelve. 4. A 2. vagy 3. igénypont szerinti jelölés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az oldalak (6) száma a rövidebb árkok (4) megkettőzésével van megnövelve. 5. A 2. igénypont szerinti jelölés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az árkok (4, 5) maratás utáni szélessége előnyösen 5 fon, és a hosszabb árkok (5) hosszúsága előnyösen 2 ± 0,5 ftm-rel kisebb egy közbülső sablon transzparens jelölésének 50 szélességével. 6. A 2-5. igénypontok bármelyike szerinti jelölés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a hosszabb árkok (5) között elhelyezkedő rövidebb árkok (4) profilja a félvezetőhordozó (2) felületével van egy szinten. 7. Az 1. igénypont szerinti jelölés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a rövidebb árkok (4) a maratási csatornák (3, 3.1) hosszirányában egymásután vannak elhelyezve, és körvonaléleik a mellettük két oldalt tengelyirányban szimmetrikusan elhelyezett hosszabb árkok (5) körvonaléleivel érintkeznek. 8. A 7. igénypont szerinti jelölés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a rövidebb árkok (4) a csatornák (3, 3.1) hosszirányára merőlegesen egy egységet alkotnak. 9. A 8. igénypont szerinti jelölés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a rövidebb árkok (4) a csatornák (3, 3.1) hosszirányában egyesével vannak elhelyezve. 10. A 7-9. igénypontok bármelyike szerinti jelölés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a csatornák (3, 3.1) hosszirányában szimmetrikusan elhelyezett hosszabb árkok (5) közötti profil a félvezetőhordozó (2) felületéhez képest süllyesztett és a sülylyesztett profil szintje a maratási csatornákon (3, 3.1) belül azonos. 11. Az 1. igénypont szerinti jelölés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a maratási csatornák (3, 3.1) egymást keresztező tartománya a félvezetőhordozó (2) felületével van szintben. 12. Eljárás jelölés előállítására félvezetőhordozó és hozzárendelt maszk, illetve sablon egymáshoz viszonyított automatikus pozicionálásához optoelektronikus illesztőrendszerrel monokromatikus leképzés esetén, amelynek során a jelölés rétegszerű anyaggal bevont (100)-irányítottságú félvezetőhordozó felületére visszük át, majd a leképzett struktúrát anizotróposan maratjuk, azzal jellemezve, hogy a létrehozott struktúrát izotróposan utánmaratjuk mindaddig, amíg a szomszédos körvonalélek a maratási csatornákon (3, 3.1)belülérintkeznekésamaratási oldalak (6) felületei durvítottak lesznek. 13. A 12. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a létrehozott strukúra utánmaratását poliszilícium maratószerrel végezzük. 14. A 12. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az izotróp maratást az anizotróp maratással összekapcsolva végezzük. 14 db ábra 55 60 Országos Találmányi Hivatal Himer Zoltán 4 Kódex
