189741. lajstromszámú szabadalom • Jelölés félvezetőhordozó automatikus pozicionálásához, valamint eljárás a jelölés előállítására
189.741 Nemzetközi osztály szám: H 01 L 21/306 H01 L 21/465 7 □,ö □ □ □ta óta □la □ja □ta 1 Fig. 10
/
