188795. lajstromszámú szabadalom • Detektor elrendezés,adott beesési szögű sugárzásnak kitett mintáról adott szögtartományban szóródó sugárzás intenzitásának mérésére
1 188 795 2 fényútja, legalább egy sugárzásérzékelője és a mintáról az adott szögtartományban szóródó sugárzás útjában elhelyezett, a szóródó sugárzást a legalább egy sugárzásérzékelőre irányító optikája van, azzal jellemezve, hogy a mintáról (10) szóródó sugárzás teljes félterében csak az adott szóródási szögtartománynak megfelelő tartományban elhelyezett legalább egy homorú tükröző felülete (11, 12, 13, 14; 31, 32, 41) és a felület(ek) számával megegyező számú sugárzásérzékelője (15, 16, 17, 18; 35, 36, ..45) van, amely homorú tükröző felületiek) (11, 12, 13, 14; 31, 32, 41) mindegyike a minta (10) kicsinyített képét a hozzá tartozó sugárzásérzékelőre (15, 16, 17, 18; 35, 36, ..45) képezi le. 2. Az 1. igénypont szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy az adott szóródási szögtartományt a teljes féltérben lefedő legalább két homorú tükröző felülete (11, 12, 13, 14; 31, 32, ...) és legalább két sugárzásérzékelője (15, 16, 17, 18; 35, 36, ...) van. 3. A 2. igénypont szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy a sugárzásérzékelők (15, 16, 17, 18; 35, 36, ...) egy házban (24) vannak elhelyezve, amely háznak (24) belső falán a homorú tükröző felületekkel (11, 12, 13, 14; 31, 32, ...) ellátott kupolája és a mintát (10) pozicionáló alaplapja (27) van, ahol a homorú tükröző felületek (11, 12, 13, 14; 31, 32, ...) a mintához (10) képest szimmetrikusan vannak elhelyezve. 4. A 3. igénypont szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy a kupolán a homorú tükröző felületekkel (11,12, 13, 14; 31, 32, .. ,) körülvett, a beeső sugárnyalábot a mintára (10) közel merőlegesen beengedő központi nyílás (19) van kialakítva. . 5. A 4. igénypont szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy a beeső sugárnyaláb fényútja és a ház (24) a hozzá rögzített sugárzásérzékelőkkel (15, 16, 17, 18; 35, 36, ...) és mintával (10) együtt egymáshoz képest kétféle helyzetben rögzíthclőcn van kialakítva, amely egyik helyzetben a minta (10) reflexiós szóródási vizsgálatához a beeső sugárnyaláb fényútját a kupola közepén kialakított nyílás (19) képezi, a másik helyzetben pedig a minta (10) transzmissziós szóródási vizsgálatához a beeső sugárnyaláb fényútja a mintának (10) a kupolával ellentétes oldalán van és a nyílás (19) fedéllel van lezárva. 6. Az 5. igénypont szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy a kupola a hozzá rögzített sugárzásérzékelőkkel (15, 16, 17, 18; 35, 36, ...) és mintával (10) együtt a beeső sugárnyaláb tengelyére (T) merőleges tengely körül 180°-kal elfordíthatóan van ágyazva. 7. A 3—6. igénypontok bármelyike szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy az egymással érintkező homorú tükröző felületek (11, 12, 13, 14; 31, 32, ...) úgy vannak kialakítva, hogy egymással alkotott metszésvonalaik a nyíláson (19) beeső sugárnyaláb határfelületén kívül helyezkednek el. 8. A 3—7. igénypontok bármelyike szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy a kupola belső fala a mintához (10) képest szimmetrikusan elhelyezett négy homorú tükröző felülettel (11, 12, 13, 14; 31, 32, ...) van ellátva, és a házban (24) négy sugárzásérzékelő (15, 16, 17, 18; 35, 36, ...) van elhelyezve. 9. A 2-8. igénypontok bármelyike szerinti detektorelrendczés, azzal jellemezve, hogy a homorú tükröző felületek (11, 12, 13, 14; 31, 32, ,..) a mintához (10) képest szimmetrikusan elhelyezett gömbfelületek, amelyeknek középpontjai (K) a minta (10) középpontjától egyenlő távolságra, egy körön helyezkednek el. 10 A 2-9. igénypontok bármelyike szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy a homorú tükröző felületek (11, 12, 13, 14; 31, 32, ...) és a supárzásérzékelők (15, 16, 17, 18; 35, 36, ...) úgy vannak elhelyezve, hogy a mintának (10) a sugárzásérzékelőkre (15, 16, 17, 18; 35, 36, ...) leképzett kicsinyített képe nagyobb, mint a sugárzásérzékelők (15, 16, 17, 18; 35, 36,'...) érzékeny felülete. 11. A 2—10. igénypontok bármelyike szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy a sugárzásé^zékelők (15, 16, 17, 18) a minta (10) mellett úgy vannak elhelyezve, hogy érzékelő felületük a minta (10) felületével közel párhuzamos. 12. A 4-6. igénypontok bármelyike szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy a kupola a nyilas (19) mentén befelé nyúló hengeres résszel (30) van ellátva, és a sugárzásérzékelők (35, 36, . ..) erre a hengeres részre (30) úgy vannak felerősítve, hogy érzékelő felületük a minta (10) felületé, e közel merőleges. 13. A 2-12. igénypontok bármelyike szerinti dete ktorelrendezés, azzal jellemezve, hogy a mintára (10) beeső sugárnyaláb beesési szöge 0 ± 5°, és a homorú tükröző felületek (11, 12, 13, 14; 31, 32, ...i a minta (10) felületének normálisához mért 45 t 5°-os szóródási szögtartományban vannak elrendezve. 1X. A 2-13. igénypontok bármelyike szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy a háznak (24) a homorú tükröző felületeken (11, 12, 13, 14; 31, 32, ...) kívüli belső felületei feketítve vannak. 15. Az 1. igénypont szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy a minta (10) felületével szemben elhelyezett test (44) belső felületén kialakított egyetlen forgásszimmetrikus homorú tükröző felülete (41) van, amely homorú tükröző felület (41) csúcsánál van elhelyezve az egyetlen sugárzásérzékel 5 (45), a mintára (10) beeső sugárnyaláb fényúljaban az említett test (44) külső felületén kialakított tükröző forgásfelület (42) van elhelyezve, és az erről visszavert belső sugárnyalábot a mintára (10) adott beesési szöggel minden irányból tükröző további forgásfelülete (43) van. 6. A 15. igénypont szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy az említett test (44) a sugárzáí érzékelővel (45) egy házban (24) központosán va í elhelyezve, amely háznak (24) belső falán a tükröző további forgásfelülettel (43) ellátott kupolája és a mintát (10) pozicionáló alaplapja (27) van, és a kupolán a tükröző további forgásfelülettel (43) körülvett, a beeső sugárnyalábot a test (44) külső fc'ületén lévő tükröző forgásfelületre (42) beengedő központi nyílás (19) van kialakítva. 17. A 15. vagy 16. igénypont szerinti detektorelrendezés, azzal jellemezve, hogy a sugárzást a min5 10 15 20 25 30 '35 40 45 50 55 60 65 5
