188633. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és szerkezet nagytisztaságú vegyületrétegek naqgy porlasztási rátájú porlasztásos előállítására

(19) HU

MAGYAR

NÉPKÖZTÁRSASÁG

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

SZABADALMI

LEÍRÁS

(21) 649/80. (22) A bejelentés napja: 80.03.19.

A bejelentés elsőbbsége:

(33) DD

(32) 79. 03. 19.

(31) (WP C 23 C/211/645)

(89) Származási ország: 146 757 1. sz. (DD)

(41) (42) Közzététel napja: 83. 12. 28.

(11)

188633

Nemzetközi osztályjelzet : (51) Int. C1.4:

c 23 c

(45) A leírás megjelent: 89. IV. 11.

Feltaláló(k) : (72)

dr. DINTER Helmut, fizikus, Jena, dr. ELBINGER German, fizikus, Jera, GOEDICKE Klaus, fizikus, Drezda, dr. HEISIG Ullrich, fizikus, Drezda, HENNEBERGER Jürgen, vegyészmérnök, Hermsdorf,

STEINHAUER Ingo, fizikus, Hermsdorf, dr. VOGLER Gerold, fizikus, Jena, WIEBICKE Georg, fizikus, Jena,

PFEIL Georg, mérnök, Hermsdorf, DD

Szabadalmas: (73)

Kombinat VEB Keramische Werke Hermsdorf, Hermsdorf, DD

(54) ELJÁRÁS ÉS SZERKEZET NAGYTISZTASÄGÜ VEGYÜLETRÉTEGEK

NAGY PORLASZTÁSI RÁTÁJÚ PORLASZTASOS ELŐÁLLÍTÁSÁRA

(57) KIVONAT

A találmány tárgya eljárás és szerkezet nagytisztaságú, sztöchiometrikus összetételű vegyületrétegek nagy porlasztási rátájú előállítására, például Al203-rétegek előállítására, amelyeket különösen mikroelektronikai alkatrészek bevonására alkalmaznak.

A kitűzött feladatot, vagyis ilyen rétegek reaktív egyenáramú (de) porlasztási technikával történő, a reaktív gáz kívánt nagyságú parciális nyomása melletti előállítását azáltal oldjuk meg, hogy a reaktív gáz nagy grádiensű parciális nyomásának biztosítására a céltárgytól megfelelő távolságra, előnyösen a céltárgy-munkatárgy távolság egyharmada és fele közötti távolságra reaktív gázt elszívó, célszerűen a porlasztási folyamat alatt állandóan regenerálódó adszorpciós felületekként kialakított eszközöket helyezünk el és a reaktív gázt előnyösen a réteggel bevonandó munkatárgyak közelében vezetjük be a munkatartályba.