188360. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető eszközök felületének elektromos mechanikai és kémiai védelmére
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY ß A bejelentés napja: (22) 83. 07. 29. (21) 2709/83 ORSZÁGOS A közzététel napja: (41) (42) 1985. 03. 28. TALÁLMÁNYI HIVATAL Megjelent: (45) 1988. 04. 29. (11)188 360 Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZ0„ HOI L 21/56 ^^Találr,tí"W^v Szabadalmi Tár. ' . '' JTiLAJDONA Feltalálóik): (72) EBERHART Edit, oki. vegyészmérnök, 30%, EBINGER Endre, fizikus, 30%, dr. LUKÁCS József, oki. gépészmérnök, 20%, SZTRÓKAY István, oki. villamosmérnök, 20%, Budapest Szabadalmas: (73) Villamosipari Kutató Intézet, Budapest * 57 ELJÁRÁS FÉLVEZETŐ ESZKÖZÖK FELÜLETÉNEK ELEKTROMOS, MECHANIKAI ÉS KÉMIAI VÉDELMÉRE (57) KIVONAT A találmány tárgya eljárás félvezető eszközök felületének elektromos, mechanikai és kémiai védelmére, amelynek során a félvezető anyagot kémiai marásnak vetjük alá, leöblítjük, megszárítjuk. A találmány szerint az aktív felületére szilikongyantaoldatból és félvezető tisztaságú, finomeloszlású, alkálimentes szilikátüvegporból álló szuszpenziót kenünk, ezt kiszárítjuk és polimerizáljuk. A szuszpenzió készítéséhez cink-bór-szilikátüvegport és/vagy ólom-bór-szilikátüvegport és/vagy ólom-aluminium-bór-szilikátüvegport alkalmazunk, amelyet összekeverés előtt 200 °C-on vákuumban kiszárítunk.
