188359. lajstromszámú szabadalom • Eljárás szilícium szelet nagy mechanikai szilárdságú fémréteggel történő bevonására kémiai redukcióval
119) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADJUK! LEÍRÁS (ml88 359 szolgalati találmány A bejelentés napja: (22) 83. 07. 29. (21) 2708/83 Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZO, H 01 L 21/283 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A közzététel napja: (41) (42)1985. 03. 28. Megjelent: (45) 1988. 04. 29. Szabadalmi Tár. ' ’ tulajdon^. Feltalálóik): (72) Szabadalmas: (73) EBERHART Edit, oki. vegyészmérnök, 30%, EBINGER Endre, fizi- Villamosipari Kutató Intézet, Budapest kus, 30%, dr. LUKÁCS József, oki. gépészmérnök, 20%, SZTRÓKAY István, oki. villamosmérnök, 20%, Budapest * 57 ELJÁRÁS SZILÍCIUM SZELET NAGY MECHANIKAI SZILÁRDSÁGÚ FÉMRÉTEGGEL TÖRTÉNŐ BEVONÁSÁRA KÉMIAI REDUKCIÓVAL (57) KIVONAT A találmány tárgya eljárás szilícium szelet nagy mechanikai szilárdságú fémréteggel történő bevonására kémiai redukcióval, amelynek során a szilícium szeletre először nikkel réteget választunk le, ezt a nikkel réteget szintereljük és erre visszük fel a fémréteget. A találmány szerint a szilícium szeletet szinterelés után hidrogén-fluorid és víz 1 : 1-2 : 1 arányú oldatába mártjuk és öblités után vizes ultrahangos kezelésnek vetjük alá, majd az így kezelt felületre visszük fel a fémréteget. Az ultrahangos kezelés frekvenciáját 20 kHz-től 40 kHz-ig terjedő tartományban ciklikusan változtatjuk.
