187919. lajstromszámú szabadalom • Eljárás fényelektromosan érzékeny vezetőképességű réteg előállítására
1 187919 2 leszivatva a kívánt vákuum elérése után (1,3 * 10-2 — —1,3 * 10 4 Pa) az első csónakot 270°C-ra melegítjük kb. 28 perc alatt, majd ennek fűtését kikapcsoljuk. A második csónakot a 28. percig előmelegítjük kb. 180°C-ra, majd tovább melegítjük 305°C-ig, kb. 15 perc alatt, s ekkor a második csónak fűtését is kikapcsoljuk. A hordozó hőfoka a párologtatás alatt 65-68 °C között van. Megvárjuk míg mindkét csónak lehűl 210 °C alá, ezután beengedjük a levegőt a gépbe. Az így kapott réteg kb. 70 p vastagságú. Második példánk szerint a hordozó, a csónakok és elhelyezésük azonos az első példában leírttal, azonban mindkét csónaknál zárószerkezetet alkalmazunk. A bemért szelének mennyisége és minősége, valamint a hordozó hőfoka is azonos az első példával. Az első csónakot 285 °C-ra melegítjük, nyitjuk a csónakfedőt, 22 percig párologtatunk, zárjuk a csónak fedőt, lekapcsoljuk a fűtését, majd az előzőleg 315°C-ra melegített második csónakot 5 perc időtartamra nyitjuk. A 27. perc után zárjuk és kikapcsoljuk a második csónakot is. Ha a csónakok 250 °C alá hűltek, levegőzzük a gépet. A kapott réteg kb. 65 p vastagságú. Harmadik példánkban három csónakot alkalmazunk, az első kettő azonos az előző példánkban leírtakkal, a harmadik a 2. ábra szerinti. A második, és harmadik csónakok középvonalainak távolsága 25 mm. Mindhárom csónak zárható, felső szintjük egy vonalban van. A hordozó azonos az első példával, távolsága a második csónak felett 80 mm. Az első csónakban 300 g 1 % As-t tartalmazó szelént, a másodikba 220 g 2,5% As-t, 15% Te-t, és 30 ppm Cl-t tartalmazó szelént, a harmadikban 120 g 5 % As-t és 50 ppm Ci-t tartalmazó szelént mérünk be. Mindhárom csónakot 180 °C-ig lezárt állapotban előmelegítjük, a hordozó hőfoka a gőzölés kezdetén 65 °C. A kívánt vákuum elérése után az első csónakot felfűtjük 280°C-ra, és nyitjuk a takarókat. A hordozó közelében elhelyezett rétegvastagságmérő érzékelése alapján vezérelve a csónakfűtést 1,2 pipere rétegnövekedési sebességet beállítva 50 p vastag alapréteget gőzölünk, zárjuk az első csónakot és fűtését visszavesszük 210 °C körüli hőntartásnak megfelelően, majd a második csónakot 320 °C- ra melegítve nyitjuk és az első réteg tetejére 5 p vastag második réteget párologtatunk, zárjuk a második csónakot, fűtését visszavéve 210 °C-os hőntartáshoz. A harmadik csónakot 370 °C-ra melegítjük, s nyitjuk és 0,5 p vastag harmadik réteget párologtatunk, zárjuk, és kikapcsoljuk mindhárom csónakot, s amikor 250 °C alá kerülnek levegőzzük a gépet. A kapott rétegnek kiváló fényelektromos mechanikai és hőállósági tulajdonságai vannak. Negyedik példánkban a harmadik példa szerint készült rétegre 10 p vastag szerves anyag réteget viszünk pl polivinilkarbazolból szórásos, vagy hengerléses technológiával. A kapott fényérzékelő réteg feltölthetősége kiemelkedő, sötétkisülése kicsiny. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás fényelektromosan érzékeny vezetőképességű, 20-150 jum vastagságú réteg előállítására, ahol a réteganyag szelén és/vagy szelénötvözet és/vagy szelénvegyület, ahol a szelénötvözet és/vagy szelénvegyület arzénnak, teljurnak, valamint halogén anyagoknak legalább egyikét tartalmazza és a réteget úgy állítjuk elő, hogy a réteganyagot tartalmazó csónakot és hordozót vákuumpárologtató gépbe helyezzük, majd 0,1 Pa-nál alacsonyabb nyomást állítunk elő a vákuumpárologtató gép terében, miközben célszerűen felmelegítjük a hordozót maximálisan 170°C-ig, majd valamely, 200 és 450 °C közötti hőmérsékletre felfűtve a csónakot elpárologtatjuk a réteganyagot a hordozó felületére, majd megvárva a csónak lehűlését, de legalábbis 250 °C alatti csónakhömérsékletig várva, ielevegőzzük a vákuumpárologtató gép terét, azzal jellemezve, hogy a csónak geometriai alakját úgy választjuk meg, hogy a réteganyag elpárolgáskor a csónakot, a csónak hosszirányára merőleges síkokban mérve 90°-nál kisebb nyílásszögű síkta'tományon belül esve hagyja el, ahol a nyílásszög szögszárait a csónakban elhelyezett párolgó réteganyag felszínének a két szélső, a csónakból való kipárolgásra még egyetlen egyenes irányában lehetőséget nyújtó pontjait a csónak betöltőnyílásának peremével összekötő egyenesek képezik. (Elsőbbsége: 1983.06. 10.) 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a csónak geometriai alakját úgy választjuk meg, hogy a réteganyag elpárolgáskor a csónakot, a csónak hosszirányára merőleges síkokban mérve 60 -nál kisebb nyílásszögű síktartományon belül esve hagyja el. (Elsőbbsége: 1983.06. 10.) 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a párologtatott réteg felületére egy' szervesréteget viszünk fel 0,5-15 pm vastagságban, amely polivinilkarbazolt vagy poliamidot vagy poliésztert vagy poliuietánt vagy polisztirolt vagy polikarbonátot tartalmaz. (Elsőbbsége: 1984. 11.30.) 4. A 3. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a párologtatott réteg felületére trinitrolfluorenont is tartalmazó szervesréteget viszünk fel. (Elsőbbsége: 1984.11.30.) 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 5 db ábra
