187886. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés alapanyag-utánadagolás irányítására egykristály növesztéseknél
1 187 886 2 addig, amíg G > Gf (tégelysúly nagyobb a felső kritikus értéknél) feltétel teljesül. A 32a számláló regiszteréből kiolvassa a beérkezett 32b óragenerátor által szolgáltatott impulzusok szárnál. Az óragenerátor frekvenciájából és az impulzusok számából meghatározza a TI időszakasz hosszát. Gf—Ga ismeretében egyszerűen mégha- Gf—Ga tározható a —^— érték, azaz a kérdéses időtartamra vonatkozó növekedési sebesség. A nyert értéket összevetve az alaktényező által meghatározott elmélet növekedési sebességgel, al alapjel értékét 33 számítógép meghatározza, és 32 folyamatillesztőn keresztül a teljesítményszabályozó bemenetére juttatja. Az utánadagolás ideje alatt al alapjel értéke változatlan marad. A találmány szerinti megoldás technológiai és gazdasági előnyöket is nyújt. Beállítható ugyanis, és a folyamat végéig biztosítható a tégelyben az az olvadékoszlop magasság, amelynél a növesztés szempontjából legkedvezőbb olvadékáramlás alakul ki. A növesztés végéig azonos termikus viszonyok a kristály minőségét előnyösen befolyásolják. Mind az analóg, mind pedig a digitális irányítás esetén olcsóbbá teszi az utánadagolásos kristálynövesztő berendezés irányító rendszerét azáltal, hogy a) nem támaszt szigorú követelményeket az adagoló szerkezettel szemben, b) nincs szükség az utánadagolt alapanyag méréséhez külön mérőátalakítóra, c) elhagyható az adagoló szabályozó köre, ugyanis elegendő az utánadagoló berendezés kétállású vezérlését biztosítani. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Eljárás alapanyag-utánadagolás irányítására egykristálynövesztéseknél, melynek során a kristály alapanyagát tégelyben előmelegítjük, majd a hőmérsékletet az olvadáspont közelében stabilizáljuk, ezután a kristálymagot egy befogó szerkezet segítségével bemártjuk az olvadékba és elkezdjük az egykristály növesztést, a növesztés során mérjük a tégely súlyát és az alaktényező figyelembevételével módosítjuk a hőteljesítményt, azzal jellemezve, hogy a súlymérés után amennyiben a tégely súlya egy kritikus érték alatt van elkezdjük a tégelybe adagolni az alapanyagot és ezalatt az idő alatt a hőteljesítményt az utolsó beállított értéken tartjuk mindaddig, amíg a tégely súlya egy kritikus érték fölé nem emelkedik, ezután a súlymérés és az alaktényező adataiból újra meghatározzuk a szükséges hőteljesítményt, azt beállítjuk és újra súlyt mérünk. 2. Berendezés alapanyag-utánadagolás irányítására egykristálynövesztéseknél, előnyösen az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, melynek láncbakapcsolt teljesítményszabályozója, első beavatkozó szerve, irányított berendezése (kristálynövesztője), mérőátalakítója (elektronikus mérleg), jelformáló és visszacsatoló szerve, továbbá különbségképző szerve, valamint adagoló berendezése és második beavatkozó szerve van, az adagoló berendezés bemenete a második beavatkozó szerv kimenetére, kimenete pedig az irányított berendezés bemenetére van csatlakoztatva, a különbségképző szerv bemenetel a jelformáló és visszacsatoló szerv kimenetére, valamint a berendezés bemenetét képező alapjel vezetékre, kimenete pedig a teljesítményszabályozó bemenetére van kötve, azzal jellemezve, hogy a berendezésnek vezérlő egysége (28) van, a vezérlő egység (28) bemenete analóg vezeté-. ken (d) keresztül a mérőátalakító (15) kimenetére, valamint a jelformáló és visszacsatoló szerv (16) egyik bemenetére, kimenetei pedig első vezérlő vezetéken (h) át a jelformáló és visszacsatoló szerv (16) másik bemenetére, valamint második vezérlő vezetéken (k) keresztül a második beavatkozó szerv (22) bemenetére van kötve (6. ábra). 3. A 2. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a vezérlő egységnek (28) alsó és felső referenciaforrása (28a, 28b), alsó és felső komparátora (28d, 28c) és vezérlő szerve (28e) van, az alsó komparátor (28d) referencia bemenete az alsó referenciaforrás (28a) kimenetére, jelbemenete pedig analóg vezetéken (d) keresztül a felső komparátor (28c) jelbemenetére, kimenete pedig a vezérlő szerv (28e) egyik bemenetére van kötve, a felső komparátor (29c) referencia bemenete a felső referencia forrása (28b) kimenetére, kimenete pedig à vezérlő szerv (28c) másik bemenetére van csatlakoztatva, a vezérlő szerv (28e) kimenete az első és második vezérlő vezetékre (h,k) van kötve (7. ábra). 4. A 3. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a vezérlő szerv (28e) sztatikus memória áramkör (7. ábra). 5. A 2—4. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az első és második vezérlő vezeték (h, k) galvanikusan össze van kötve (6., 7. ábra). 6. A 2-3. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a jelformáló és visszacsatoló szervnek (16) láncbakapcsolt differenciáló szerve (16a), vezérelt kapcsolója (16b) tartószerve (16c) és jelformáló szerve (16d) van, a differenciáló szerv (16a) bemenete az analóg vezetéken (d) keresztül a mérőátalakító (15) kimenetére van kötve, a vezérelt kapcsoló (16b) vezérlő bemenete első vezérlő vezetéken (h) át a vezérlő egység (28) kimenetére van csatlakoztatva, jelformáló szerv (lód) kimenete a különbségképző szerv (14) bemenetére van kötve (6. ábra). 7. Berendezés alapanyag-utánadagolás irányítására egykristálynövesztéseknél, előnyösen az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, melynek láncbakapcsolt beavatkozó szerve, adagoló berendezése, irányított berendezése (kristálynövesztő), mérőátalakítója és folyamatillesztője, valamint forgatássebesség szabályozó köre, húzásseb esség szabályozó köre, teljesítményszabályozó köre, számítógépe és hagyományos perifériái vannak, az irányított berendezés bemenetei a forgássebesség-, a húzássebesség- és a teljesítményszabályozó körök bemenetéire, ki/bemenetei pedig központi vezetékkötegen keresztül a számítógépbe és a hagyományos perifériák ki/bemeneteivel vannak összekötve, azzal jellemezve, bogy a berendezés beavatkozó szervének (35) a bemeneti a folyamatillesztő (32) kimenetére van kötve (9. ábra). 8. A 7. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 6
