187713. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető amorf vékonyrétegek előállítására különösen félvezető eszközökhöz

187 '713

NSZ04: C 01 B 33/02;

B 05 D 5/12

729

I I M 1

7. ábra

826

8\ ábra