187686. lajstromszámú szabadalom • Berendezés sik szubsztrátumra kiválasztott bevonó anyagból filmbevonat ráporlasztására és eljárás a berendezés üzemeltetésére
187686 NSZ04: C 23 C 14/36 8
/
187686 NSZ04: C 23 C 14/36 8