187686. lajstromszámú szabadalom • Berendezés sik szubsztrátumra kiválasztott bevonó anyagból filmbevonat ráporlasztására és eljárás a berendezés üzemeltetésére

187 686

NSZ04: C 23 C 14/36

IG. 10

143

w

161 ^16*

11 f n '1 1Y HU1 run

# — A. # h #

■>

,5ô2 159 ^

V V.....V // V

S'

1