186203. lajstromszámú szabadalom • Eljárás berendezésorientált integrált áramkör fémezési maszkjának előállítására
119) HU MAGYAR NÉRKÖZTÁR8A8ÁG SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLAT! TALÁLMÁNY A bejelentés napja: (22) 82. 12. 23. (21) 4143/82 f ni> 186 203 Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZ04 H 01 L 21/28: H 01 L 21/88; H 01 L 21/96 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A közzététel napja: (41) (42) 84. 08. 28. Megjelent: (45) 87. 09. 30. Feltalálóik): (72) MOHÁCSY Tibor, villamosmérnök, 45%, PACHER Donát, villamosmérnök, 55%, Budapest Szabadalmas: (73) MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, Budapest (54) ELJÁRÁS BERENDEZÉSORIENTÁLT INTEGRÁLT ÁRAMKÖR FÉMEZÉSI MASZKJÁNAK ELŐÁLLÍTÁSÁRA (57) KIVONAT Az eljárás során legalább két segédletet állítunk elő. Az egyik segédlet mérettartó átlátszó anyagból készül, előnyösen film, mely tartalmazza mérethelyesen az összeköthető pontokat. A másik segédlet pedig a huzalozás tervezéséhez szükséges áramköri (layout) mintázatot. Az előállítás során az áramköri mintázatot tartalmazó segédleten megtervezzük az összeköttetéseket, majd ráhelyezzük az átlátszó segédletet, melyre a kialakítandó áramkörnek megfelelő összeköttetéseket ragasztható fóliával és/ vagy szalaggal helyezzük fel, és ily módon állítjuk elő a fémezési maszk fotózható rajzolatát. A fotózható rajzolatból optikai kicsinyítéssel állítjuk elő a maszklemezt. A találmány szerinti eljárás alkalmas berendezésorientált integrált áramkörök fémezési maszkjának gyors, olcsó, gazdaságos előállítására. 1. ábra
