186159. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés tárgyfelületek geometriai paramétereinek meghatározására
I 186159 2 jában, továbbá egy, az interfrekvenciaképek egybehangolására képzett 37 elem, valamint 36 tárgy, amely utóbbi egy planparallel átlátszó 38 lap, például üveg, míg az interferométer másik csatornájában egy kéttengelyes csukló van elhelyezve, amelyeknek tengelyei egymásra merőlegesek, és merőlegesek a fénynyaláb tengelyére is. A csukló 39 forgásszögadóval és egy villamos hajtóművel van ellátva. A sávszámok mérésére kiképzett egység tartalmazza a 41 fényelektromos vevőt, amely a sugárzást érzékeli és veszi, mégpedig azt a sugárzást, amely a 42 fénysugárelosztón és egy pont formájú 43 blendén keresztül a vándorlósávú kép középső részéből van kiválasztva, mielőtt az a 32 regisztrált képpel kölcsönhatásba lépne. Tartalmaz még a berendezés 44 fényelektromos vevőt, amely azt a sugárzást fogja fel, amely a regisztrált képpel való kölcsönhatásba lépés után keletkezik. A találmány szerinti berendezés tartalmaz 45 fázisszög digitális átalakitót, amelynek bemenetei rádiófrekvenciás 46 szűrőn keresztül vannak a 41 és 44 fényelektromos vevőkkel összekapcsolva, továbbá ki van benne alakítva 47 vezérlő mikroprocesszor, amelynek bemenetei a 45 fázisszög-digitális átalakítóval a 30 koordináta-adókkal és a 39 forgásszög-adóval, kimenetei pedig a 31 villamos hajtással és a 40 villamos hajtással vannak összekapcsolva. A sávszámok mérésére kiképzett egység működése a következő: A 33 lézer által kibocsátott fénynyaláb a 34 interferométerben két részre ágazik el. Az egyik résznyaláb a fény frekvenciáját megváltoztató 35 berendezésen keresztülhalad és frekvenciája omega-értékkel változik meg, amely ómega-frekvenciát a 48 generátor adja, és a frekvenciatartomány 10 kHz... és 10 között lehet. A 33 lézer által kibocsátott fénynyaláb másik része keresztülhalad az interferenciaképet egybehangoló 37 elemen, és a 38 lemezen, és igy létrehozunk egy, az eredetivel párhuzamosan eltolt fénysugarat, aholis a párhuzamos eltolást az a szög határozza meg, amely a fénynyaláb és a 38 lemezként alkalmazott planparallel lemez tengelye között van. A 34 interferométerből tehát végülis két egymással párhuzamos fénynyaláb lép ki, amelyeknek eltérő a frekvenciája. A két rész-fénynyalábot a 32 regisztrált kép síkjában fókuszáljuk a 29 koordinátaasztalon. A rész-fénynyalábok keresztezésénél vándorló interferenciasávú képet kapunk. A felvételt végző objektív, jelen esetben 50 blende, végzi el a vezérelt és irányított fény által regisztrált kép sávjainak optikai szűrését, és a 44 fényelektromos vevőhöz csak azt a spektrum-metszetet továbbítja, amely a regisztrált kép térbeli főfrekvenciájának a közelébe esik, amely frekvencia a sávok közepes frekvenciájának felel meg. A 44 fényelektromos vevőn omega-frekvenciájú jel jön létre. A 42 fénysugárosztó és a pont formájú 43 blende a vándorló interferencia sávú vetített kép középső részéből leválaszt egy sugárrészt és a 41 fényelektromos vevőhöz továbbítja. így a 41 fényelektromos vevő kimenetén is omega-frekvenciájú jel jelenik meg. A 41 és 44 fényelektromos vevőkről érkező jelek közötti fáziskülönbség bizonyos pontossági értékig megegyezik a mérőfelület középpontban regisztrált képben azon interferencia sávjainak fázisával, amelyeket a vándorló sávú járulékos kép hozott létre. Ha regisztrált képet egy sávval eltoljuk, a jelek fáziskülönbsége 2n értékkel változik meg. A 45 fázisszög-digitális átalakító a koordináta-asztal eltolása következtében létrejött fázisváltozásnak mind az egész számú, mind pedig a törtrészét digitális kódolt jellé alakítja át és a 47 vezérelhető mikroprocesszor tárolójába viszi be. A 47 vezérelhető mikroprocesszor által az adott letapogatási pont meghatározott fázisértékét vagy megméri, vagy pedig a mért értékeket egyidejűleg az adott ponthoz tartozó koordinátákkal együtt leolvassák. Mivel a regisztrált képben a sávok különböző irányúak és a sávtávolságok is különbözőek, az érzékelés során a regisztrátum és a vetített kép térbeli frekvenciái elhangolódhatnak, amely a mérés során zavart okoz, sőt adott esetben a berendezés működése is leáll. A fent említett jelenség elkerülése érdekében a vándorló sávok vetítendő képének térbeli frekvenciáját állandóan utánállítjuk. Ez úgy történik, hogy a 47 vezérelhető mikroprocesszor a mérési eredmények alapján a képet a térbeli frekvenciájának komponensei alapján meghatározza, mégpedig a An/AX és a An/AX értékeket, és ezeket az értékeket összehasonlítja a 38 lemez adói által kibocsátott adatokkal. Abban az esetben, ha az adatok nem egyeznek meg, a 47 mikroprocesszor a 40 villamos hajtásra egy vezérlőjelet továbbít, amelynek alapján az egymást keresztező nyalábok közötti szöget és annak helyzetét a síkon a berendezés segítségével beállítjuk. Ennek eredményeképpen megváltozik a vándorló interferenciasávok frekvenciája és irányítása egészen addig, míg a két jel megegyezik. A találmány szerinti berendezés eredményesen alkalmazható tetszőleges periodikus regisztrátumok analízisére, például interferogramok, hologramok, raszterek, stb. kiértékelésére. A találmány szerinti berendezésben a sávszámok mérésére kiképzett 47 mikroprocesszor önálló egység is lehet. Ebben az esetben a kimenetét az 1. ábrán bemutatott 11 folyamatszámítógép bemenetére kell csatlakoztatni, hogy a regisztrált kép adott koordinátapontjaiban a sávszámokhoz tartozó adatokat a 47 mikroprocesszorba be lehessen táplálni. Ugyanakkor a mikroprocesszor funkcióit a folyamatszámítógépbe is be lehet építeni, aminek az a feltétele, hogy a fázis-digitális átalakítónak, a koordináta-asztal adóinak és az interferenciakép hangoló egységének kimeneteit a folyamatszámítógép bemenetéivel kapcsoljuk össze, míg a folyamatszámítógép vezérlőkimeneteit a megfelelő egységek bemenetéivel kapcsoljuk. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás adott tárgyfelület geometriai paramétereinek a meghatározására, amikoris a vizsgálandó felületre két egymással szöget bezáró felületű koherens fénynyalábot vetítve interferenciaképet hozunk létre, majd ezt az interferenciaképet regisztráljuk, és a sávszámok alapján a regisztrált képben minden egyes két koordinátával meghatározott felületponthoz meghatározzuk a harmadik koordináta növekményt, azzal jellemezve, hogy az interferenciaképről készített regisztrátumon az egyik interferencia sávot jelzéssel látjuk el, 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 8
