186151. lajstromszámú szabadalom • Félvezető detektor különböző fajtájú radioaktív sugárzások egyidejű, egymástól független mérésére és eljárás ilyen detektorok előállítására

(19) HU MAGYAR

NÉPKÖZTÁRSASÁG

SZABADALMI

LEÍRÁS

SZOLGALATI TALÁLMÁNY

<11> 18© 151

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

A bejelentés napja: {22) 82. li.02 (21) 3501/82

A közzététel napja: (41) (42) 1984. 05. 28. Megjelent: (45) 87. Ö9. 30.

Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZO,

H 01 L 31/04: H 01 L 31/18

^találmányi H, ^ 'ó/\

U Szabadalmi Tár. '

tulajdoné.

Feltalálóik): (72)

dr. DESI Sándor, fizikus, KRAMPÉ Géza, üzemmérnök, Budapest

Szabadalmas: (73)

Központi Bányászati Fejlesztési Intézet, Budapest

(54) FÉLVEZETŐ DETEKTOR KÜLÖNBÖZŐ FAJTÀJÜ RADIOAKTÍV SUGÁRZÁSOK EGYIDEJŰ, EGYMÁSTÓL FÜGGETLEN MÉRÉSÉRE ÉS ELJÁRÁS ILYEN DETEKTOR ELŐÁLLÍTÁSÁRA

(57) KIVONAT

A találmány értelmében a detektor érzékeny térfogatában különböző elektromos térerősséggel rendelkező tartományok vannak kialakítva, és a kis térerősségű tartomány vastagsága összemérhető a detektálni kívánt kisebb hatótávolságú ionizáló részecskének a detektor anyagában mérhető hatótávolságával, a holt réteg vastagsága pedig kisebb, mint a detektálni kívánt legkisebb energiájú töltött részecske hatótávolsága a detektor anyagában. A detektort úgy állítjuk elő, hogy szennyezett szilíciumlapka egyik oldalára alumíniumot, másik oldalára lítiumot vákuumgőzölünk, a szíliciumlapka belsejében diffúzió útján alumíniumdiffúziós, illetve lítiumdiffúziós réteget hozunk létre, a szilíciumlapka belsejébe drifteléssel lítiumot juttatunk, amellyel kompenzáljuk a szennyezéseket, és közel sajátvezetésü érzékeny térfogatot alakítunk ki. A detektor kimenetén megjelenő elektromos impulzusokat jelalakdiszkriminátorba vezetve lehetővé válik a különböző fajtájú radioaktív sugárzásoknak egyetlen félvezető detektorral történő egyidejű, egymástól független mérése.

A

1. ábra