185450. lajstromszámú szabadalom • Eljárás n- és/vagy p-típúsú adalékolt területeket tartalmazó félvezető eszközök, előnyösen MOS vagy bipoláris integrált áramkörök kialakítására

í19) HU MAGYAR

NÉPKÖZTÁRSASÁG

SZABADALMI

LEÍRÁS

11>185 450

SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

A bejelentés napja: (22) 81. 08. 18.

(21) 2405/81

A közzététel napja: (41 ) (42) 84. 02. 28. Megjelent: (45) 87.07. 30.

Nemzetközi

osztályjelzet:

(51)NSZ04

H 01 L 21/34: 27/10

Feltaláló(k): (72)

Bányai Ferenc, fizikus, 5 %, Gyimesi Jenő, fizikus, 9 %, Gyulai József, fizikus, 5 %, Heksch Ferenc, villamosmérnök, 12 %, Kósza Gézáné, vegyészmérnök, 6%, Lénárt Márta, vegyészmérnök, 12 %, Mohácsi Tibor, vegyészmérnök, 14 %, Podmaniczky István, vegyészmérnök, II %, Sándor Szvetlána, vegyészmérnök, 5 %, Schiller Róbertné, vegyészmérnök, 9 %, Tímár József, vegyészmérnök, 12%, Budapest

Szabadalmas: (73)

MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, Budapest, Mikroelektronikai V. Budapest

(54) ELJÁRÁS n- ÉS/VAGY p-TÍPUSÜ ADALÉKOLT TERÜLETEKET TARTALMAZÓ FÉLVEZETŐ ESZKÖZÖK, ELŐNYÖSEN MOS VAGY BIPOLÁRIS INTEGRÁLT ÁRAMKÖRÖK

KIALAKÍTÁSÁRA

(57) KIVONAT

A találmány tárgya eljárás n- és/vagy p-típusú adalékolt területeket tartalmazó félvezető eszközök, előnyösen MOS vagy bipoláris integrált áramkörök kialakítására.

A találmány abban van, hogy a termikus szilíciumdioxid-réteget az ismert eljárásoknál alkalmazott oxidrétegnél vékonyabbra, pl. felére vagy harmadára választjuk. Ezt a vékonyabb szilíciumdioxid-réteget szelektíven eltávolítjuk. Ezután a szilícium egykristály-szeletbe az eltávolított helyeken ismert módon megfelelő adalékanyagot, pl. bőrt vagy foszfort implantálunk, és az egykristály-szeletet megfelelő közegben hőkezeljük. Ezt követően pirolitikus vagy más alacsony hőmérsékletű oxid leválasztást végzünk úgy, hogy a vékonyabbra választott szilíciumdioxid-réteg és a pirolitikus vagy alacsony hőmérsékletű oxidréteg együttes vastagsága éppen a szükséges környezeti oxidréteg vastagságával legyen egyenlő. Végül további ismert műveletek elvégzésével a félvezető eszközt kialakítjuk.