183865. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés mikronos és mikronfeletti alakzatok méretének és az alakzatok egymástól való távolságának nagypontosságú meghatározására
183 865 NSZO3:G01 B 11/14 £2 8. ábra 3 K 9. ábra
/