183854. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és interferométer elmozdulásvektor összetevőinek holografikus mérésére

183 854

NSZOs: G 01 B 9/021;

1

\

11

16

13

13

\

\15

14

14,

~A-------------->15-V

15

15

14

14

1^13

'13-f

\l3

13

4.ábra

7