183841. lajstromszámú szabadalom • Elektrosztatikus porszóró
1 183 854 2 A kész felvételeket a szokásos módon lehet kiértékelni. Mint a fentiekből is kitűnik, a találmány szerinti eljárás és interferométer segítségével üzemi környezetben, nappali fényben is készíthetők elemzésre alkalmas interferogramok. A fényforrás és az optikai rendszer elemei nagy pon- 5 tossággal állíthatók be, a rezgések hatása erőteljesen korlátozható, és így minden olyan felület vonatkozásában az elmozdulásanalízis elvégezhető, amelynél a megfelelő rálátás biztosítható. 10 Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás elmozdulásvektor összetevőinek holografikus mérésére, amikor is impulzusüzemű fényforrással koherens fénynyalábot állítunk elő, a koherens fénynyalábot tárgynyalábra és referencianyalábra osztjuk, majd a tárgy- 1 5 nyalábot elmozduló felületre vetítjük és az elmozduló felület által szórt fény alapján, referencianyaláb felhasználásával holografikus interferogramot készítünk, azzal jellemezve, .hogy a koherens fénynyalábot az elmozduló felület mozgásától függő két egymást követő időpontban ál- 20 Htjuk elő, a referencianyalábot mindkét időpontban legalább négy résznyalábra osztjuk, majd a résznyalábok alapján a felvételt a két időpont közötti intervallumnak megfelelő legalább négy interferencia képként készítjük el. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, 2 5 azzal jellemezve, hogy a koherens fénynyalábot az elmozduló felület mozgásával szinkronizáltan választott két időpontban állítjuk elő. 3. Interferométer elmozdulásvektor összetevőinek holografikus mérésére, különösen ipari célokra, előnyösen 30 az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, amelynek koherens fénynyalábot előállító impulzusüzemű ' fényforrása és koherens beállítónyalábot előállító folyamatos üzemű fényforrása, a koherens fénynyalábból tárgynyalábot és referencianyalábot kialakító, illetve a beállítónya- 3 5 lábot formáló optikai rendszere, továbbá elmozduló felületről visszavert fény és a referencianyaláb alapján interferogramot rögzítő egysége van, azzal jellemezve, hogy az optikai rendszer az impulzusüzemű fényforrás (1) és a folyamatos üzemű fényforrás (33) közül mindenkor az egyik 40 koherens fénynyalábját legalább öt részre bontó osztókkal (11, 14) és tükrökkel (15) van ellátva, az impulzusüzemű fényforrás (1) vezélő egységre (37) van csatlakoztatva és az interferogramokat rögzítő egység legalább négy, az impulzusüzemű fényforrással (1) szinkronizáltan működtetett 45 holokamerát (4) tartalmaz. 4. A 3. igénypont szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elmozduló felület mozgását követő mérőfej (39) van, amely a vezérlő egység (37) egyik bemenetére (48) van csatlakoztatva. 50 5. A 4. igénypont szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a mérőfej (39) piezoelektromos kristályt tartalmaz. 6. A 3—5. igénypontok bármelyike szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a vezérlő egység 5 5 (37) az egyik bemenetével (48), előnyösen a mérőfejre (39) csatlakoztatott váltókapcsolón keresztül, rezgéskeltő (38) jeltovábbító kimenetére van csatlakoztatva. 7. A 3—6. igénypontok bármelyike szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az optikai rend- 60 szer a koherens fény nyalábot két részre bontó, a tárgy nyalábot előállító osztó (11) és a referencianyalábokat előállító osztók (14) között úthosszbeállító tükröket (13) tartalmaz, továbbá tárgynyalábtágító egységgel és a referencianyalábokat nyalábtágítás után a holokamerákba (4) irányító tükrökkel (15) van ellátva. 8. A 7. igénypont szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az úthosszbeállító tükrök (13) a fénynyaláb útja mentén elmozgathatóan vannak megvezetve. 9. A 7. vagy 8. igénypont szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a tárgynyalábtágító egység szórólencse (12). 10. A 7—9. igénypontok bármelyike szerinti interferométer kiviteli alakja, azzaljellemezve, hogy az irányító tükrök (15) előtt síkhullámot előállító térszűrős nyalábtágítók vannak elrendezve. 11. A 7—10. igénypontok bármelyike szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az interferométer és az impulzusüzemű fényforrás (1) optikai elemeinek beállítására szolgáló folytonos üzemű fényforrás (33) fényét a rendszerbe csatoló pentaprizmával (36) van ellátva. 12. A 3—11. igénypontok bármelyike szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a holokamera felüláteresztő fényszűrővel (28) és mozgatható lamellákat tartalmazó zárszerkezettel van ellátva. 13. A 3—12. igénypontok bármelyike szerinti interferométer kiviteli alakja, azzaljellemezve, hogy a vezérlő egység (37) triggerillesztővel van kialakítva» 14. A 13. igénypont szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a triggerillesztő a váltókapcsolóval csatlakozó bemenetre (48) vezetett szűrővel és a szűrővel kapcsolt analóg erősítővel van ellátva. 15. A13. vagy 14. igénypont szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a vezérlő egységre (37) fényvillanást érzékelő detektor (44) van csatlakoztatva. 16. A 3—15. igénypontok bármelyike szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az impulzusüzemű fényforrás (1), a folyamatos üzemű fényforrás (33), az interferogramot rögzítő egység, valamint az optikai rendszer közös vázon (2) van felszerelve. 17. A16. igénypont szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a váz (2) mereven összeillesztett elemekből áll. 18. A 16. vagy 17. igénypont szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a váz (2) elmozgatható és helyzetében rögzíthető, talajrezgéseket csillapító alvázra van szerelve. 19. A18. igénypont szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az alváz függőlegesen emelhető és süllyeszthető munkahengert tartalmaz, amelynek egyik végén a vázt (2) megfogó, annak vízszintes tengely körüli és vízszintes síkban való mozgatását lehetővé tevő panorámafej (7) van. 20. A 3—19. igénypontok bármelyike szerinti interferométer kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az optikai rendszer elemei állítócsavarokkal (24), (27) ellátott mozgórészre (19) és alaplemezre (17) egymásra merőlegesen elrendezett laprugókkal támaszkodó befogólemezben (20) vannak elrendezve, ahol az alaplemezhez (17) és a mozgórészhez (19) egy-egy laprugón (22,23) át csatlakozó, az állítócsavarral (24) megtámasztott, a mozgórészhez (19) rugóval (25) kapcsolt emelőlemez (21) van szintben illesztve és az alaplemez (17) egymásra merőlegesen, egymást keresztezve elrendezett laprugókon (18) át van a mozgórészhez (19) csatlakoztatva. 12 db ábra 5
