183841. lajstromszámú szabadalom • Elektrosztatikus porszóró
1 183 854 2 Az interferométer váza mereven összeillesztett elemekből áll és a talaj rezgéseket csillapító alvázra van felszerelve. Az interferométer panorámafej és hidraulikus munkahenger segítségével állíthátó be a kívánt pozícióba. Az impulzusüzemű fényforrás és optikai rendszer érzékeny elemei két tengely körüli állítócsavarokkal elforgatható olyan befogólemezbe vannak beerősítve, amely a vázban rögzített alaplemezhez mozgórészen keresztül laprugókkal kapcsolódik. A találmány tárgya eljárás és interferométer elmozdulásvektor összetevőinek holografikus mérésére. A találmány tárgyát képező eljárás szerint impulzusüzemű fényforrással koherens fénynyalábot állítunk elő, a koherens fénynyalábot tárgynyalábra és referencianyalábra osztjuk, majd a tárgynyalábot elmozduló felületre vetítjük és az elmozduló felület által szórt fény alapján a referencianyaláb felhasználásával holografikus interferogramot készítünk, míg az eljárás foganatosítására is alkalmas és különösen ipari alkalmazásra szánt interferométemek koherens fény nyalábot előállító impulzusüzemű fényforrása, koherens beállítónyalábot előállító folyamatos üzemű fényforrása, a koherens fénynyalábból tárgynyalábot és referencianyalábot előállító, valamint azonos fényút mentén beállítónyalábot formáló optikai rendszere, továbbá elmozduló felületről visszavert fény alapján interferogramot rögzítő egysége van. A találmány szerinti eljárás és interferométer alapján lehetővé válik hordozható berendezés kialakítása, amelynek segítségével ipari feltételek között is biztosítható az elmozdulásvektor összetevőinek nagy pontosságú mérése, továbbá az elmozdulás irányának megállapítása. Elmozdulásvektor meghatározására több holografikus eljárás ismeretes. így A. E. Ennos (J. Sei. Instrum., 1968, 1, 731) a zérusrendű csíkra, tehát a vizsgált felületen levő mozdulatlan pontra vonatkoztatott eljárást javasolja. Ez az eljárás csak az ún. érzékenységi irányba (vagyis a megfigyelési és a megvilágítási irány közötti szög szögfelezőjének irányába) eső összetevő mérésére alkalmas. Ezért, és ezenkívül azért, mivel mozdulatlan pontot még nagy gondossággal biztosított laboratóriumi környezetben is sokszor nehéz találni, az eljárás alkalmazhatósága erősen korlátozott. A. B. Alekszandrov és A. M. Boncs-Brujevics javasolta először egyetlen interferogram alkalmazását az elmozdulás meghatározásához (Zsurnal Tyehnyicseszkoj Fiziki, 1967, 37, 360). Az eljárás lényege szintén a csíkszámlálás, amihez az interferogramot különböző irányokból figyelik meg és a megfigyelési irány változtatása során egyik kijelölt pont képe felett elvonuló csíkok számát állapítják meg. Az elmozdulásvektor mindhárom összetevőjének mérése nagyobb számú egymástól független mérést tenne szükségessé, de mindenkor, a mérési elvből következően, csak az interferogramot tartalmazó hologramlemezzel párhuzamos összetevő mérhető elfogadható pontossággal. Ezek az eljárások gyakorlatilag csak laboratóriumi környezetben alkalmasak a kijelölt mérési feladatok megoldására. Az interferométert mindenkor nagy gondossággal kell az egyes feladatoknak megfelelően összeállítani, ezért a méréshez optikai szakismeretekkel és megfelelő gyakorlattal rendelkező szakember jelenléte nélkülözhetetlen. Az ismert eljárások ipari alkalmazhatóságának biztosítására is történt kísérlet. Az NSZK-beli Rottenkolber AG cég olyan készüléket forgalmaz, amely rubinlézert, tehát impulzusüzemű fényforrást alkalmaz és egyetlen interferogramot készít. Az interferogram az elmozdulásvektor összetevőinek mérését általában nem teszi lehetővé, egyidejűleg csak egy összetevő mérhető elfogadható pontossággal. A találmány célja az ismertetett hátrányok kiküszöbölése. A találmány feladata olyan eljárás és interferométer kidolgozása, amelyekkel ipari feltételek között is lehetővé válik tárgyak elmozdulását jellemző nagypontosságú interferogramok készítése nagy méretek esetén is. Találmányunk alapja az a felismerés, hogy az elmozdulásvektor összetevői, az elmozdulás iránya nagy pontossággal határozható meg, ha az elmozduló felületről egyazon koherens fénynyaláb felhasználásával egyszerre legalább négy interferogramot készítünk, amelyeket számszerűen értékelünk. A kitűzött feladat megoldására olyan, a vizsgálandó elmozduló felület mozgására és/vagy deformációjára jellemző elmozdulásvektor összetevőinek mérésére alkalmas holografikus eljárást dolgoztunk ki, amikor is impulzusüzemű fényforrással koherens fénynyalábot állítunk elő, a koherens fénynyalábot tárgynyalábra és referencianyalábokra osztjuk, majd a tárgynyalábot elmozduló felületre vetítjük és az elmozduló felület által szórt fény alapján, a referencianyalábok felhasználásával holografikus interferogramot készítünk, és a találmány szerint a koherens fénynyalábot az elmozduló felület mozgásától függő két egymást követő időpontban állítjuk elő, a referencianyalábot mindkét időpontban legalább négy résznyalábra osztjuk, majd a résznyalábok alapján a felvételt a két időpont közötti intervallumnak megfelelő legalább négy inteferenciaképként készítjük el. Különösen rezgést végző tárgyak jellemző elmozdulásvektor összetevőinek előnyös, ha a koherens fénynyalábot az elmozduló felület mozgásával szinkronizál tan választott két időpontban állítjuk elő. A kitűzött feladat megoldására ezen kívül interferométert is kidolgoztunk, amely a fentiekben jellemzett holográfiás eljárás megvalósítására is alkalmas, továbbá ipari körülmények között jól alkalmazható, amelynek koherens fény nyalábot előállító impulzusüzemű fényforrása és koherens beállítónyalábot előállító folyamatos üzemű fényforrása, a koherens fénynyalábból tárgy nyalábot és referencianyalábot kialakító, illetve a beállítónyalábot formáló optikai rendszere, továbbá elmozduló felületről visszavert fény- és a referencianyaláb alapján interferogramot rögzítő egysége van, és a találmány szerint az optikai rendszer az impulzusüzemű fényforrás és a folyamatos üzemű fényforrás közül mindenkor az egyik koherens fénynyalábját legalább öt részre bontó osztókkal és tükrökkel van ellátva, az impulzusüzemű fényforrás vezérlő egységre van csatlakoztatva és az érzékelő egység legalább négy, az impulzusüzemű fényforrással szinkronizáltan működtetett holokamerát tartalmaz. Ha az elmozduló felület rezgő mozgást végez, akkor a vezérlő egységhez célszerűen, például váltókapcsolón keresztül, rezgéseket érzékelő, előnyösen piezoelektromos kristályt tartalmazó mérőfejet és rezgéskeltő kimenetét csatlakoztatjuk. A találmány szerinti interferométer optikai rendszerét előnyösen úgy alakítjuk ki, hogy az a koherens fénynyalábot az optikai rendszer a koherens fénynyalábot két részre bontó, a tárgynyalábot előállító osztó és a referencianyalábokat előállító osztók között úthosszbeállító tükröket tartalmaz, továbbá tárgynyalábtágító egységgel és referencia5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 2