183759. lajstromszámú szabadalom • Eljárás integrált áramköri minták fotolitográfiás kialakítására
NSZ03: H 01 L 21/306; H 01 L 21/70 183 759 FEMVEKONYRETEG KÉSZÍTÉS Megjelent a Műszaki Könyvkiadó gondozásában A kiadásért felel: Himer Zoltán osztályvezető 86.0161/3 MSZH Nyomda, Budapest
/
