183574. lajstromszámú szabadalom • Beállító hajtómű févezető szeletek vizsgálatára
i T (19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI _______LEÍRÁS A bejelentés napja: (22) 81. 09. 11. (21) 2632/81 (33) A bejelentés elsőbbsége: DD (32) (31) 80. 12. 09. (WP H 01 L/225 885) "1| 183574 Nemzetközi osztályjelzet: (51 ) NSZOj H 01 L 21/68 ORSZÁGOS A közzététel napja: (41) (42) TALÁLMÁNYI HIVATAL Megjelent: (45) 86. 12. 12. Feltalálóik): (72) REISSLAND Ebenhard oki. mérnök, KRÜGER Karl-Heinz mérnök, Drezda, DD 83. 07. 28. Szabadalmas: (73) VEB Zentrum für Forschung und Technologie Mikroelektronik, Drezda, DD (54) BEÁLLÍTÓ HAJTÓMÜFÉLVEZETŐ SZELETEK VIZSGÁLATÁRA (57) KIVONAT A találmány tárgya beállító hajtómű, amely félvezető-szeletek vizsgálatához kerül alkalmazásra, szeletvizsgáló berendezéseken. A szondatűrendszerrel történő kontaktálás gyors és ütközésmentes emelőmozgás, valamint a félvezető-szelet tetszőleges szöggel való forgatása által valósítható meg. A beállító hajtómű egy további és folyamatos hajtással rendelkezik az említett emelőmozgás irányában, amely független az emelőmozgástól. Ezáltal lehetséges a szeletvastagsági eltérések kiegyenlítése, amivel a mérési pontosság javul. A szelettámasz beállításához szolgáló eszközök forgásszimmetrikus emelőmágnesből, azt körülvevő csúszókeretből, továbbá hajtómű csapágygyűrűből állnak. mi su c Ki tm in ice mm m m ko m ris ni mz se
