182771. lajstromszámú szabadalom • Párologtatás vezérlő berendezés optikai rétegek előállításához
182.771 a rezgőkvarcos mikióméileg szinkron vezérlése biztosítja, hogy a mérési eredmények egymással szinkronban jelennek meg és a párologtatás! sebesség vezérlése a rezgőkvarcos mérőrész jele alapján illetve a párologtatás leállítása a fotométer jele alapjan késedelem nélkül pontosan végrehajtható. A találmány szerinti megoldás részleteit kiviteli példa kapcsán, rajz alapján ismertetjük. A találmány tárgya párologtatás vezérlő berendezés, mely párologtató forrás vezérlőt^ párologtatás leállitótj kijelző egységet, adatbeviteli egyseget és ezen kivül fotométert^ rezgokvarcos mikromérleget és ezekhez kapcsolt közös vezérlő egységet is tartalmaz és a fotométer vezorlu bemenete. a rezgőkvarcos mi króm ér leg vezérlő bemenete, a párologtató forrás vezérlő benenete, a párologtatás leállító bemenete és a kijelző egység bemenete a közÖ3 vezérlő egység kimenetelhez, valaminta fotométer, a rezgőkvarco3 mikromér leg adat kimenete, illetve az adatbeviteli egység kimenete a közös vezérlő egység bemenetelre csatlakoznak. Az 1. ábra példaképpen a találmány szerinti berendezés egy lehetséges kiviteli alakját mutatja tömbvázlatban, nig a 2. ábra a közös vezérlőegység példakénti tömbvázlatát szemlélteti. Amint az 1. ábrán látható, az 1 fotométer és a 2 rezgőkvarcos mikromérleg adatkimenetel és vezérlő bemenetel a 3 közös vezérlő egységhez csatlakoznak. Ugyancsak a 3 közös vezér-• lő egységhez csatlakozik a 4 párologtató forrás vezérlő, az 5 párologtatás leállító, a 6 kijelző es a 7 adatbeviteli egység. A berendezés működése a következő. A 3 közös vezérlő egység az 1 fotométert és a 2 rezgőkvarcos mikromérleget vezérli, azok mérési eredményeit beolvassa és feldolgozza és ennek alapján vezérlő jelet ad a 4 párologtató forrás vezérlő, ‘az 5 párologtatás leállító és a 6 kijelző egység működtetéséhez. A 3 közös vezérlő egység működéséhez szükséges adatokat a 7 adatbeviteli egységen keresztül lehet programozni. A 3 közös vezérlő egység egy lehetséges megvalósítása a 2. ábrán látható. A 8 mikroprocesszorhoz a 9 fix Programm memória, a 10 irhátó-olvasható memória, a 11 párhuzamos bemeneti egység és a 12 párhuzamos kiviteli egység csatlakozik. • A 3 közös vezérlő egység működésé a következő. A 8 mikroprocesszor a 9 fix program memóriában tárolt program alapián a 11 párhuzamos bemeneti egysében keresztül az 1 fotométer és a 2 rezgőkvarcos mikromérleg mérési adatait, valamint a 7 adatbeviteli egységen keresztül bevitt paramétere két a 10 irhatóolvasható memóriába viszi, kiértékeli é3 a 12 párhuzamos kiviteli egységen keresztül a 4 párologtató forrás vezérlőt az 5 párologbatas leállitót és a 6 kijelző egységet vezérli. Ugyancsak a 12 párhuzamos kiviteli egység vezérli az 1 fotométer és a 2 rezgőkvarcos mikromérleg bemenetelt. A 11 párhuzamos bemeneti egység 11/1, 11/2 és 11/3 bemenetekkel, mig a 12 párhuzamos kiviteli egység 12/1, 12/2} 12/3 és 12/4 kimenetekkel rendelkezik. A programozott működésű 3 közös vezérlő egység lehetővé teszi a berendezés sokoldalú felhasználását. A vezérlő programtól függően a 6 kijelzőn megjelenített mért érték a mért optikai jellemző és/vagy a rezgőkvarcos mikromérleg által mért adat lehet. A vezérlő program kiegészíthető a 4 párologtató forrás vezérlő feszültség-idő függvény szerinti felfütesét biztositó résszel is, mellyel a párologtatás előkészítése és sza3
