182771. lajstromszámú szabadalom • Párologtatás vezérlő berendezés optikai rétegek előállításához
MAGYAR Mírköztársaság SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGALATI TALALMANY B fQ| Bejelentés napja: (22) 1981. VII. 28. (21)2199/81. *9* Elsőbbsége: ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI Közzététel napja: (42) 1983. VII. 28. HIVATAL Magjelant: 1987. V. 25. 182771 Nemtetfcézi otnMynÉii (51) NSZO3 C 03 C 17/06 Szabadalmi Tár. ' ^ 'QíAJDOm 3* (72) (73) Bán András, Fábián István, Budapest Műszeripari Kutató Intézet, Fűvárosi Finommechanikai Vállalat, Budapest (54) Párologtatás vezérlő berendezés optikai rétegek előállításához (57) KIVONAT A találmány szerinti berendezés fotométert és rezgőkvarcos mikromérleget tartalmaz, melyeket közös vezérlő szerkezet egyesít. A közös vezérlőegységhez csatlakoznak továbbá a párologtató forrás vezérlő a párologtatás leállító, az adatbeviteli- és kijelző egységek. A közös vezérlő szerkezet a fotométer és a rezgőkvarcos mikromérleg szinkron vezérlését biztosítja, miáltal a pároiogtatási sebesség szabályozása és az optikai Jellemzők mérése nagy pontossággal valósítható meg. 1 ábra
