182731. lajstromszámú szabadalom • Kapacitív mérőérzékelő

MAGYAR

nCpkOztArsabAq

SZABADALMI

LEÍRÁS

182731

0R8ZÁG08

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

B

Ntmmkötl outélyoaái:

Bajalantéinapja: (22) 1979. VI. 19.. (21) EE-2671 Elsőbbség«; (33) DD

(32) 1978. VI. 20 (31) WPG 01 R/206 138 Közzététel napja : (42) 1983. V. 30.

Megjelent: 1987. V. 25.

(51) NSZOa G 01 R 1/06

U Szabid almi Tár.

^ tulajdon^ v

(72) (73)

Riessland Eberhard, Wagner Wolfgang, oki. mérnö- VEB Elektromat int VEB Kombinat Mikroelektronik,

kök, Dresden, Opitz Günter, oki. fizikus, Radebeul, Dresden, DD

DD

(54)

Kapacitív mérőérzékelő

(57)KIVONAT

A találmány tárgya kapacitív szonda, amelynek különleges árnyékolása van, hogy mérni tudja a legkisebb útkülönbségeket, amelyek a legkisebb kapacitáskülönbségeknek felelnekmeg.

Erre a célra egy árnyékolásban, amely testpotenciálra van kötve, egy első és egy második elektród van elhelyezve.

Az első elektród egy nyílásban és adott esetben ennek egy mélyedésében egy csatolócsap van elhelyezve. Az árnyékolás, az elektródok és a csatolócsap között egy dielektrikum helyezkedik el, amely osztott is lehet. Az elektródok leárnyékolják a csatolócsapot az árnyékoláshoz képest, és egyidejűleg ■ az ernyőn egy csatolásmentesítő nyúlvány van az elektródok között, úgy hogy a két elektród közötti kapacitás is, valamint az árnyékolás és a csatolócsap közötti kapacitás is igen kicsi.

A kapacitív mérőszondával egy vezetőanyagtól való távolságok, valamint a vezetőképes anyag határoló éleinek helyzete is mérhető.