182278. lajstromszámú szabadalom • Eljárás pn átmenetek leginkább sekély pn átmenetek kontaktálására

182278

Nemzetközi osztályozás: H 01 L 21/44

Lu!____

p-Si

j

4 ÁBRA

''yÿ'V "y','Sâ

2

. n*

p-Si

6. ÁBRA