182032. lajstromszámú szabadalom • Elrendezés folyékony üzemanyagú 1-és többfokozatú osztott terű, diffúziós és gőzsugaras vákuumszivattyúra
182.032 kötéssel van csatolva, illetve a G-j, G2 gőzterelők éa P^, ?2 fuvókák belső részén is egybefüggően folytatódik, egészen a T tartórudig. A Vl, V2 válaszfalakkal elhatárolt térrészek között csak az illesztési réseken át lehet gázáramlás, ezért kell a réseket, minimálisra kialakítani. Az P fúvókákbán a térelválasztás nem kritikus, mert itt a nagy nyomású olajgőzök megakadályozzák a recipiensek gázainak keveredését. A V válaszfal anyaga bármilyen vákuumtechnikailag tiszta anyag lehet, ezen belül a V2 válaszfalnál a jó hővezetés előnyösebb. A találmány szerinti elrendezés előnye, hogy több diffúziós, illetve gőzsugár szivattyút tud kis helyen megvalósítani. ; Egy összetett vákuumrendszer gazdaságosabban állítható elő a találmány szerinti osztott szivattyúval, mint több különálló szi-2 vattyuval. A kis méretű diffúziós szivattyúk cm -enkenti szivóteljesitménye kisebb, mint a nagyoké. Egy nagyobb méretű szivattyúban osztással kialakított kis szivattyúk megtartják a nagy szivattyú kedvezőbb fajlagos szivóteljesitményét0 Különösen előnyösen használható a találmány szerinti elrendezés differenciálisán szivattyúzott rendszerekben, több mérőhelyes tömegspektrométeres berendezésekben, stb. Szabadalmi igénypontok 1. Elrendezés az önmagában ismert, folyékony üzemanyagu egy- és többfokozatú diffúziós és gőzsugár vákuumszivattyúra, azzal jellemezve, hogy a szivattyú legalább egy fokozatában a Î őzáramot legalább két részre osztó gázátnemeresztő válaszfalai /V//válaszfalakkal/ van ellátva, amely fálaszfal/ak/ egyrészt a gőzterelők /G/ és fuvókák /P/ külső felületéhez, másrészt a szivattyuház belső falához /H/ csatlakozik/nak/. 2. Elrendezés az 1. igénypont szerinti diffúziós és gőzsugár vákuumszivattyúra azzal jellemezve, hogy a gőzáraraot megosztó válaszfal/ak/ /V/ a fuvókák /F/ és gőzterelők /G/ belsejében is folytatódik/nak/. 2 db rajz F.k.: Hlmar Zoltán Országot Találmányi Hivatal 70- OTH - 84.081 4
