182031. lajstromszámú szabadalom • Berendezés nagyvákuum előállítására szolgáló olajdiffúziós szivattyú olajgőzeinek kiválsztására
182.031 levegő alkalmazása nemcsak igen költséges, hanem rendkívül balesetveszélyes is. Az üzemeltetés állandó kezelő jelenlétét tegezi szükségessé, tehát munkaigényes. Emellett magának a cseppfolyós nitrogénnel vagy cseppfolyós levegővel működő csapdának a beruházási költsége sem elhanyagolható. A jelen találmány célja olyan csapdarendszer alkotása, amely ezeket a hátrányokat kiküszöböli ; mind beruházási, mind üzemi költsége kicsiny, üzeme nem balesetveszélyes, nem munkaigényes, az effektiv szivási'sebességet kisebb mértékben csökkenti le és emellett mégis biztosítja a gyakorlatilag tiszta nagyvákuum létesítését. A találmány azon a felismerésen alapszik, hogy az első fo-“ kozatban alkalmazott, pl. fuvókacsapda mellett visszaáramló olajgőz kifagyasztásához nem szükséges a cseppfolyós nitrogénnel, illetve cseppfolyós levegővel előállított -170 ----180 °0 hideg, hanem ugyanazt az eredményt érhetjük el a -60°C-náí nem hidegebb, de azt megközelítő hűtéssel is. Nevezetesen a visszaáramló clajgozmolekulák egyrésze abból származik,_ hogy a szivattyúból nagysebességgel a fuvókán keresztül többségében lefelé irányuló olajgőzmolekulák mellett vannak kisebb sebességű gőzmolekulák is, amelyek nem kondenzáltnak a szivattyutér falán, hanem ütközés, vagy más ok miatt felfelé áramlanak. Ezeket a lemezes csapda célszerű kialakításával lehet cseppfolyósítanis a nagyvákuumos térben a hajlított lemezek egymástól való távolságának a-nak és a lemez félhosszának b-nek az arányát v- = 0,1 - 0,8 kozott célszerű megválaszta” -7 -4 D ni a 10 - 10 torr közötti vákuumtartományban} pontos értéJ küket empirikus módon, ellenőrző mérésekkel lehet meghatározni. Az ily módon elért optimális kialakítással el lehet érni, hogy a lemezes csapdához érkező olajgőzmolekulák átjutási valoszinü-4 sége elhanyagolhatóan kicsiny, mintegy 10 legyen. Ámde olajgőzmolekulák bekerülhetnek a munkatérbe az olyan olajmolekulák közül is, amelyek éppen a lemezes csapdán kicsapódott olajrészecskék párolgásából erednek. Ennek az olajpárolgásnak a mennyisége a hűtés hőmérsékletén mérhető tenziós nyomással arányos. A találmány felismeréséhez tartozik, hogy ezek a vákuumtérben levő, a párolgásból származó olajrészecskék már-60 C hőmérsékleten is csak 10 ^ - 10” torr parciális nyomással vannak jelen, aminek gyakorlatilag már nincs jelentősége, mivel az alkalmazott gumi vagy más elasztomer tömítésénekmaguk is adnak le szénhidrogéneket hasonló nyomástartományban. Ennek megfelelően a találmány szerinti berendezés lényegei hogv hütött fuvókája és olyan lemezes csapdája van, amely -20°C'- -60°C, előnyösen -50°0 - ~60°C közötti hűtést előállító pl. fluorozott szénhidrogénes hűtőfolyadékkal töltött, önmagában ismert, hermetikus motorkompresszoros zárt hütőrend-. szerrel van működő kapcsolatban, mimellett a lemezes csapda hajlított lemezei egymástól való távolságának és a lemez félhosszának aránya 0,1 és 0,8 között van, A f uvókacsandának nincs szüksége ilyen erős hűtésre .Tízért a találmány szerinti egyik kiviteli alakban a hűtése vízhűtéses .is lehet, egy másik kiviteli alakban azonban ezt is a mélyhűtőrendszer hütheti, de csak közvetve. Ez a közvetett hűtés úgytörténhetik, hogy a fuvókacsapda a lemezes csapdával csak pl, összekötőcsavar által létesített laza termikus kapcsolatban van. Ily módon, ha a lemezes csapda hűtése pl,-60 °C-os, akkor 3
