181779. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés különböző elemekből álló atmokból összetett vékony filmréteg növesztésére valamely hordozó felületén
181779 16 / kamraként kialakított reakciózónát (18, 110), reakciózónához csatlakozó vákuum-eszközöket, a reakciózónában levő hordozó (11, 11’) melegítésére szolgáló fűtőelemeket (15, 47, 116, 68), a reakciózónához csatlakozó gőzforrásokat (20, 53, 54, 82), amelyek szelektíven és váltakozva különböző anyagok gőzeit szolgáltatják a gőzforrásokból a reakciózónába, továbbá a gázfázisú közegnek a gázforrásból a reakciózónán át a vákuumeszközökhöz való áramlását szabályozó eszközöket tartalmaz, azzal jellemezve, hogy az elszívó szivattyú (17, 50) a közömbös vivő- és/vagy elválasztógáz áramlási irányára (v) vonatkoztatva a reakciózóna (18, 110) kivezető oldalához, a reaktív gázforrások, valamint a vivő- és/vagy elválasztógázforrások (20, 53, 54, 82) a reakciózóna bevezető oldalához kapcsolódnak. 7. A 6. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a közömbösgáz elválasztógázforrás a reaktiv gáz és a reakciózóna közötti csatlakozóhoz (12) van kapcsolva. 8. A 7. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a csatlakozóval (12) szemben levő reaktív gázforrás oldala az elszívó szivattyúhoz (17, 50) kapcsolódik, amely diffúziós falat képez az elválasztó gázforrásból. 9. A 6., 7. vagy 8. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a közömbös gázforrás egy impulzus-szelep (22) 15 vagy egyenértékű eszköz közvetítésével kapcsolódik a reaktív gázforráshoz a reakciózónába (18, 110) vezető csatlakozó (12) ellentétes oldalán. 5 10. A 6. vagy 7. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a hordozó (11, 11’) mozgatható tartóban (61) van elhelyezve, mely vízikerékhez hasonló vagy azzal egyenértékű, tengely körül forgatható elem és a reakciózóna szektor-szerű 10 részei között van elhelyezve, ahol az egyes szektorok olyan átjárókat képeznek a közömbös elválasztógáz számára, amelyek egyik végükön elszívó szivattyúhoz (50), másik végükön pedig az elválasztó gázforráshoz kapcsolódnak, továbbá átjárókat ké- 15 peznek a különböző reaktív gázok számára, amelyek egyik végükkel elszívó szivattyúhoz (17), másik végükkel pedig reaktív gázforrásokhoz csatlakoznak. 11. A 6-9. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy elvá- 20 lasztó tagot tartalmaz a reaktív gázokhoz szükséges elválasztó gáz számára, mely elválasztó tag külső fele a gázok számára szükséges adagoló nyílásokba és az ürítő nyílásokba nyílik és ezek környezetében van elhelyezve, és ezáltal a meghatározott térközökben 25 úgy mozgatja a hordozót (11, 11’), hogy annak egy adott pontja váltakozva jut át az elválasztó gáz által alkotott diffúziós falon és a különböző reaktív gázok zónáin. 5 rajz, 17 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 84.4443 - Zrínyi Nyomda, Budapest 8
