181618. lajstromszámú szabadalom • Integrált rétegelési eljárás
11 181618 12 illékony folyadékot, illetve hűtőhengereket alkalmazunk — amely tovább csökkenti a párolgást —, akkor a folyadékfilm eltávolítása nagyobb mértékben a laminált polimer rétegen történő abszorbeáltatással megy végbe. Nyilvánvaló, hogy nem illékony folyadékok felhasználása esetén a folyadékfilm eltávolítása lényegében abszorpciós úton történik. A folyadékfilm eltávolításának pontos méchanizmusa nem kritikus. A fent ismertetett vékony filmes kezeléssel még viszonylag kemény hőre lágyuló rétegek is hatékonyan felvihetők a szubsztrátumokra. Természetesen a szubsztrátumoknak tisztáknak kell lenniük. A tisztítási eljárásnak a laminálással való integrálása biztosítja a kívánt tisztaságot. E film jelenléte nélkül a réteg a laminálás során esetleg nem tapad pillanatszerűen hozzá a szubsztrátumhoz. Előnyös, ha az előtisztítási eljárást a 153 636 számú amerikai egyesült államokbeli szabadalmi bejelentésben ismertetett integrált módon végezzük el. D) Sorjázás Amikor az előrehaladó szubsztrátumok úgy ütköznek öszsze egymással, hogy a vezető lap húzott éle és a soron következő lap vezető éle között nincs jelentős térköz, egy hosszanti irányú húzófeszültség alkalmazása azt eredményezi, hogy az szimultán módon lesorjázza a réteget a vezető lap húzott éléről és a következő lap vezető éléről. Ha viszont az egymást követő lapok úgy helyezkednek el, hogy a fényérzékeny rétegből egy „híd” képződik, amely áthidalja a vezető lap húzott éle és a következő lap vezető éle közötti rést, akkor szükségessé válik a két él külön lesoijázása. Ebben az esetben a lapok vezető élének lesorjázásához szükséges húzófeszültséget előnyösén úgy biztosítjuk, hogy a réteggel ellátott szubsztrátumnak a lamináló hengerek közül való kilépésekor eltávolítjuk a hordozófilmet a rétegről oly módon, hogy a filmet az előrehaladó réteg hosszanti tengelye mentén tompaszögben visszahajlítjuk, mikor is a visszahajlítás sugara kellőképpen kicsi ahhoz, hogy a szubsztrátum vezető élén a réteg húzófeszültségét meghaladó igénybevételt éljünk el. A találmány szerinti eljárást az alábbiakban példákkal, valamint a rajzokhoz fűzött magyarázattal mutatjuk be részletesebben. 1. példa Egy fedőlap nélküli fotorezisztens filmtekercset állítottunk elő az alább ismertetendő módon. Elkészítettünk egy fényérzékeny bevonat oldatot, melynek az összetétele a következő volt: Komponens Súlyrész (a) Sztirol és izobutilalkohollal részlegesen észterezett maleinsavanhidrid 1 : 1 arányú kopolimerje; molekulasúly kb. 20 000; savszám kb. 180 40 (b) 17% etil-akrilátot, 71 % metil-metakrilátot és 12% akrilsavat tartalmazó terpolimer; molekulasúly kb. 300 000; savszám kb. 105 12,6 (c) 40% N-terc-oktil-akril-amidot, 34% metilmetakrilátot, 16% akrilsavat, 6% hidroxi-propil-metakrilátot és 4% terc-butil-amino-etil-metakrilátot tartalmazó interpolimer; molekulasúly kb. 50 000 5 (d) Polioxietilezett trimetilol-propán-triakrilát (20 mól etilén-oxid); molekulasúly: 1162 10 (e) Trimetilol-propán-triakrilát 12,5 (0 Benzofenon 4 (g) 4,4’-Bisz(dimetil-amino)-benzofenon (Michler-féle keton) 0,7 (h) 2,2’-Bisz(2-klór-fenil)-4,4\5,5’-tetrafenil-biimidazol 3 (i) Leuko kristály ibolya 0,4 (j) Benzotriazol 0,2 (k) l,4,4-trimetil-2,3-diazabiciklo-[3.2.]non-2-én-2,3-dioxid 0,06 (1) Victoria Green (C. I. Pigment Green 18) 0,03 (m) Metilén-klorid 200 (n) Metanol 15 A fenti bevonó oldatban 13 súlyrész polietilén gyöngyöt (amelyek 85%-a 10 mikronos átmérőjűnél kisebb, 15%-a pedig 10 és 20 mikron közötti átmérőjű volt) diszpergáltunk. A keveréket felvittük egy 0,00127 cm vastag poli(etiléntereftalát) szövetre, amelynek hátsó oldalán egy Camuba viaszt és poli(vinilidén-klorid) keverékét tartalmazó keverékből álló vékony réteg helyezkedett el. A fotopolimerízálható réteget megszárítottuk, mikor is száraz állapotban mért vastagsága 0,00254 cm volt, majd a száraz, bevonattal ellátott anyag mintegy 30,5 m-jét feltekercseltük. Az alábbiakban részletes magyarázatot füzünk a rajzmellékletekhez. Az 1. ábrán látható, hogy a nyomtatott áramköri szubsztrátumok (lapok) sorozatának mindegyik tagját folyamatosan mechanikus módon továbbítjuk egy görgős szállítóvonalon a 3 tisztító kamrán keresztül, amelyben mind az alsó, mind a felső rézzel bevont felületet mechanikus ledörzsöléssel, erős vízsugárral megtisztítjuk. A lapok anyaga üvegszállal erősített epoxigyanta. A tisztított szubsztrátumok ezután az 5 rendező hengersorba jutnak — a szubsztrátumok a Uniform Water Film teszt szerinti tisztaságúak —, ahol a lapok oldalai pontosan elrendeződnek. Az 5 rendező hengersorból a felsorakoztatott lapok kilépnek és elhaladnak a 6 folyadékréteget felvivő hengerek között, mely hengerekbe a vékony réteg képzésére szolgáló folyadék (ebben az esetben 30% etanolt tartalmazó vizes oldat) a 7 vezetéken érkezik a 6 hengerek belső üregébe. A 6 felhordóhengerek egy szabályos mintában perforált fémmagot tartalmaznak, amelyen egy kemény, porózus polietilén hüvely van, amelyen viszont egy gyapjúszövet bevonat van, melyen a vékony réteget képző folyadék áthalad és bevonat formájában felkerül a szubsztrátumokra. A 6 felhordóhengerek belsejében a folyadékszintet a 8 rögzített szintű elvezető korlátozza. A folyadékrétegek vastagsága 10—50 mikron. A vékony folyadékréteggel mindkét oldalán ellátott lap ezután a 9 alsó és felső adagoló hengerek közé kerül, amelyek a 11 folytonos, hordozóra felvitt fényérzékeny réteg védetlen felületét ráfektetik a vékony folyadékréteggel bevont szubsztrátumra. Az előnyös hengermeghajtást a szubsztrátumok továbbítására a .........számú amerikai egyesült államokbeli szabadalmi bejelentésben ismertetik (1981. február 17.; PD—1899). Adott esetben a 9 adagoló hengerek a fényérzékeny réteget minden különösebb nyomás nélkül fektetik fel a szubsztrátumok felületére. A fölös mennyiségű folyadék úgy távozik el a szubsztrátum felületéről, hogy a 9 adagoló hengerek közötti áthaladáskor a hengerközben egy buborék képződik. Ilyen módon a nedvesség visszamarad a folyadékréteg és a szubsztrátum között, és a termikus igénybevétel arra a rövid 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 6
