181618. lajstromszámú szabadalom • Integrált rétegelési eljárás
3 181618 4 dozófilm szövet és a lapok között a leírás 2. ábráján látható módon kinyúló fényérzékeny réteg révén összekapcsolódnak, és a felső és az alsó szövet rétegét egy „zsanér” formájában egymásba rétegelik (lásd 5. oszlop, 35—39. sor). Ezt követően a 12 és 13 hengerekkel lehúzzák a hordozófilmet. A lehúzási művelet egyben továbbítja is az áramköri lapokat, ezáltal érintkezésbe hozva azokat a mindenkori soron következő lappal, igy továbbítva azt a megvilágító egységbe. A fényérzékeny réteg szövete—amely a hordozófilm lehúzása után az egymást követő lapok között maradt — „zsanér” módjára önmagára felhajlik amikor a lapok széle összeér. Ez a „zsanér” megvilágító egységbe való belépés előtt késsel lesorjázható. A 3 547 730 számú amerikai egyesült államokbeli szabadalmi leírásban szintén ismertetik az áramköri lemez tisztítását egy bevezetési hely és egy laminálási hely között, továbbá a lap és/vagy a fényérzékeny lemez előmelegítését a megfelelő bevezetési hely és laminálási hely között, valamint a laminálást megelőző fedőlap-lehúzásra szolgáló 10 hengereket. A 4 025 380 számú amerikai egyesült államokbeli szabadalmi leírásban olyan eljárást ismertetnek, amelyben az áramköri lapokat egymás után ráviszik egy szállítószalagra, amely átviszi azokat egy előmelegítő egységen, majd elhalad a lamináló hengerek működését szabályozó érzékelő kapcsolók mentén. Egy vágó egység a laminálást megelőzően a kívánt hosszúságúra vágja fel a fényérzékeny réteget, majd a levágott réteget felviszik az áramköri lapra. A leírásban említést tesznek a 63 hengerekről, amelyek arra szolgálnak, hogy a laminálás előtt lehúzzák a fedőfilmet. Az egyes eljárási lépéseket továbbfejlesztették. A 3 629 036 számú amerikai egyesült államokbeli szabadalmi leírásban ismertetik, hogy a fotorezisztens anyag szubsztrátumra való rétegeléséhez megkívánt magasabb hőmérséklet azzal a hátrányos következménnyel jár, hogy korlátozza az eljárásban felhasználható szubsztrátumok és fotorezisztens anyagok körét, valamint a szubsztrátumon rossz minőségű megkötődést idéz elő. A szabadalmi leírás szerinti eljárás célja az, hogy szobahőmérsékleten végzett laminálással megoldja ezeket a nehézségeket. Először a feloldott rezisztens anyag oldatával kezelik a szubsztrátumot, majd elvégzik a laminálást. A szabadalom szerinti eljárásban egy segédréteget alkalmaznak a fotorezisztens réteg és annak hordozófilmje között abból a célból, hogy az a laminálás után lehetővé tegye a film lehúzását a fotorezisztens rétegről. A 3 794 546 számú amerikai egyesült államokbeli szabadalmi leírásban egy tapadó szövet alkalmazását ismertetik, amely hozzátapad egy fény hatására keményedé anyagból álló hordozófilmhez úgy, hogy ezáltal egy receptor lapra rétegelt, képszerűen megvilágított, fény hatására keményedé rétegnek legalább a nem megkeményedett részéről le lehet húzni a hordozófilmet. A 4075 051 számú amerikai egyesült államokbeli szabadalmi leírásban eljárást ismertetnek egy szubsztrátumra rétegelt fotorezisztens réteg önsorjázására, vagyis a szubsztrátum szélén túl nyúló réteg külön vágási lépés nélküli eltávolítására. Ezt oly módon valósítják meg, hogy egy folyékony lágyítószerrel kezelik legalább a réteg kinyúló részét, de lehetőleg az egész réteget. Ennek során a szubsztrátumot előnedvesítik a lágyítószerrel, majd lehúzzák akár a hordozófilmet, akár a segéd permeábilis lapot, amely a réteg kohéziós erejénél — a lágyítószer hatására — erősebben tapad a réteghez. A réteg azon része, amely túlnyúlik a szubsztrátum szélén, a szubsztrátum széle mentén fut tovább (a fedőlap vagy permeábilis lap lehúzásának hatására) és a lappal együtt távolítják el. A lágyítószer a fotorezisztens anyag oldószere vagy lágyulást elősegítő anyag. A fotorezisztens rétegnek a szubsztrátra való felvitelére az említett szabadalmi leírás szerint hagyományos hengeres laminátort, nyomást és hőt alkalmaznak. Jóllehet az eddig ismert laminálási eljárások igen sokféle alkalmazásra megfelelnek, nagy igény van precízebb és egyenletesebb laminálási eljárásokra, különösen az igen nagy vonalsűrűségű nyomtatott áramköri lapok gyártásánál. A találmány tárgya integrált eljárás fényérzékeny rétegek felvitelére egy szubsztrátumsorozat tagjainak felületére, valamint a réteg lesorjázására a réteggel ellátott szubsztrátumok keresztirányú éleinek legalább egyikéről, mely eljárás során a következő lépéseket valósítjuk meg: (1) egy lehúzható polimer film egyik oldalára mint hordozóra felvitt, fényérzékeny, szerves polimer készítmény folytonos rétegét és egy szubsztrátumot bevezetünk egy lamináló hengerközbe; (2) a hordozóra felvitt réteg hordozóval nem érintkező felületét a hengerközben nyomás alatt érintkezésbe hozzuk a szubsztrátum felületével, és a réteget lamináljuk a szubsztrátum felületére; (3) adott esetben a lamináló hengerközből kilépő, réteggel ellátott szubsztrátumról eltávolítjuk a hordozófilmet, és réteggel ellátott szubsztrátum továbbítását a hordozófilmnek a laminált rétegről való teljes eltávolításáig folytatjuk; (4) a laminált szubsztrátumot hosszanti tengelye mentén a haladási irányban tovább húzzuk, melynek révén a szubsztrátumnak a haladási irányhoz képest keresztirányú, húzott élén a laminált réteg és — ha jelen van — a hordozófilm szakítószilárdságánál nagyobb erőhatást biztosítunk; és (5) a szubsztrátumsorozat soron következő tagjaival megismételjük a (2)—(4) lépéseket. A találmány szerinti eljárás egyik előnyös foganatosítási módjában úgy járunk el, hogy a hordozófilmet a lamináló hengerek közéből való kilépésekor úgy távolítjuk el a rétegről, hogy a filmet az előrehaladó réteg hosszanti tengelye mentén tompaszögben visszatekercseljük, mikoris a visszahajlítás sugara kellőképpen kicsi ahhoz, hogy a szubsztrátum vezető élén levő réteg szakítószilárdságát meghaladó igénybevételt biztosítsunk. Az alábbiakban ismertetjük az 1—4. ábrák tartalmát. Az 1. ábra sematikusan ábrázolja a találmány szerinti eljárás előnyös megvalósítási módját egy folyamatos rétegelési eljárásban. A 2. ábra egy sematikus rajz, amely keresztmetszetben ábrázolja a szubsztrátum kezelésének egyik előnyös módját a fényérzékeny réteg felvitele előtt. A 3a) és 3b) ábrák sematikus rajzok, amelyek keresztmetszetben ábrázolják a fényérzékeny réteg lesorjázásának előnyös módját a találmány szerinti eljárással réteggel ellátott szubsztrátum vezető éléről. A 4. ábra egy sematikus rajz, amely keresztmetszetben ábrázolja a fényérzékeny réteg lesorjázását a találmány szerinti eljárással réteggel ellátott szubsztrátum húzott éléről. Az alábbiakban részletesen ismertetjük a találmány szerinti eljárást. A) A fényérzékeny réteg A találmány szerinti eljárással sokféle nőrelágyuló réteg laminálható. A találmány szerinti eljárás különösen előnyösen alkalmazható olyan fényérzékeny védőanyagok szubsztrátumokra való laminálására, amelyeket nyomtatott áram5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 2
