181618. lajstromszámú szabadalom • Integrált rétegelési eljárás
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS 181618 Nemzetközi osztályozás: Bejelentés napja: 1981. V. 26. (1577/81) NSZOj ORSZÁGOS Elsőbbsége: 1980. V. 27. (153 634) 1981. III. 27. (244 792) Amerikai Egyesült Államok Közzététel napja: 1982. XI. 29. . G 03 C 1/74 TALÁLMÁNYI HIVATAL / O' s# jada.>-' _ */ Megjelent: 1985. XII. 31 Feltalálók: Szabadalmas: Pilette Yvan Philip, vegyész, Lawrenceville, New Yersey, E. I. Du Pont de Nemours and Com-Johnson Daniel David, vegyész, Yorklyn, Delaware, pany, Amerikai Egyesült Államok Wilmington, Delaware állam, Amerikai Egyesült Államok Integrált rétegelési eljárás 1 A találmány tárgya eljárás folytonos réteg felvitelére egy szubsztrátumra. Közelebbről megvilágítva, a találmány tárgyát egy integrált rétegelési eljárás képezi, mely eljárás során a felvitt réteget automatikusan lesorjázzuk. A 3 469 982 számú amerikai egyesült államokbeli szabadalmi leírásban egy fotorezisztens eljárást ismertetnek, mely eljárás során egy felületre felvisznek egy hordozó filmen rögzített fotopolimerizálható réteget, majd a réteget képszerűen megvilágítják, lehúzzák a hordozófilmet, és mosással eltávolítják a réteg megvilágítást nem kapott területét, így egy olyan védőképet kapnak, amely megvédi a szóban forgó felületet a soron következő technológiai műveletektől, így a maratástól vagy galvanizálástól. A fotorezisztens eljárásra az említett szabadalmi leírásban ismertetik egy fotopolimerizálható készítménynek oldatban történő felvitelét a hordozófilmre, mely műveletet szárítás és a kapott száraz bevonatnak egy felületre — például rézzel bevont nyomtatott áramköri lapra (lásd. 5. példa) — történő rétegelése követ. A gyakorlati életben azonban a megszárított fotopolimerizálható bevonatot — amelynek a szállítás és raktározás során mindvégig hozzá kell tapadnia a hordozóhoz — egy hordozófilm és egy fedőlap között elhelyezett „szendvics” alakban forgalmazzák. Ezzel kapcsolatban utalunk a leírás 1. példájára. Ez a megoldás lehetővé tette, hogy a gyártó a szendvicset önmagára felhengerelje és a felhasználónak — például nyomtatott áramköri lapok gyártójának — kompakt, könnyen kezelhető tekercs formájában adja át. A tekercs felhasználónál történő letekercselését a fedő lap tette lehetővé. E fedő réteg hiányában a fotopolimerizálható réteg nyomás hatására odaragadna a hordozófilm hátsó 2 oldalához. Ilyen esetben a filmet természetesen nem lehetne a fotopolimerizálható réteg károsodása nélkül letekercselni. A gyakorlatban a fedőlapot lehúzzák és kidobják, majd elvégzik a fentiekben említett fotorezisztens eljárást. 5 A 3 782 939 számú amerikai egyesült államokbeli szabadalmi leírásban tárgyalják a fedőlap szükségességét a fotopolimerizálható réteg állítólagos tapadóssága miatt. A valóságban e rétegnek nem kell szükségszerűen tapadósnak lennie, azonban nyomás hatására — például feltekercseléskor 10 — valóban tapadhat. A fotorezisztens eljárás kivitelezésére szolgáló berendezések általában több különálló berendezésből állnak, így egy tisztítóberendezésből, egy a rézzel borított áramköri lapok tisztítására szolgáló berendezésből, egy a lapok előmelegíté- 15 sére szolgáló kemencéből, egy hengeres rétegeid berendezésből — amely az egymásra való rétegeléskor hőt ad át a fotorezisztens anyagnak és a lpanak —, egy megvilágító (sugárzó) egységből, valamint egy oldószeres berendezésből. Az egyes egységek között a munkadarabokat kézi szállítással 20 kell mozgatni, illetve áthelyezni, ami viszont további költségeket és nemkívánatos veszteségeket jelent. Számos kísérletet tettek a fotorezisztens eljárás automatizálására, de ez csak korlátozott mértékben sikerült. A 3 547 730 számú amerikai egyesült államokbeli szaba- 25 dalmi leírásban eljárást és berendezést ismertetnek a fotorezisztens eljárásra. A berendezés egy formázott munkadarabok — például áramköri lapok — egymás utáni beadagolására szolgáló egységet és egy laminátort foglal magába, mely utóbbi egység fogadja a lapokat és elvégzi a fényérzékeny 30 réteg felvitelét. Ezt követően a réteggel ellátott lapok a hor-191618
