181341. lajstromszámú szabadalom • Eljárás filmképző hőrelágyuló polimerek rétegelésére szubsztrátumokra
13 181341 14 réteggel ellátott szubsztrátumnak a lamináló hengerek közül való kilépésekor eltávolítjuk a hordozófílmet a rétegről oly módon, hogy a filmet az előrehaladó réteg hosszanti tengelye mentén tompaszögben visszahajlítjuk, mikor is a visszahajlítás sugara kellőképpen kicsi ahhoz, hogy a szubsztrátum vezető élén a réteg húzófeszültségét meghaladó igénybevételt érjünk el. Előnyös, hogy az eljárásban felhasználandó hőrelágyuló réteg viszonylag keményebb a legtöbb fényérzékeny rétegnél. A keménység a réteget egyúttal viszonylag törékennyé is teszi, azaz nagy meghajlításkor viszkozitáscsökkenésben megnyilvánulva veszít szilárdságából, ami által a réteg dilatációs jelleget mutat. Az eljárás előnyt húz ebből oly módon, hogy a laminálás után a réteg megfeszítésekor a réteg eltörik a szubsztrátum húzott éle mentén és nem nyúlik meg és nem töredezik szabálytalanul, mint ez a lágyabb rétegekkel bekövetkezne. Előnyös, hogy az eljárás egyszerre az egymást követő szubsztrátumok mindkét oldalán lefolytatható, így a fényérzékeny réteget a szubsztrátum mindkét oldalára felvihetjük. Ebben az esetben különösen fontos, hogy ne legyen jelen folyadék a szubsztrátum furataiban, nehogy a laminálás hője elpárologtassa a folyadékot, valamint nehogy a fényérzékeny réteg „sátrai” a szubsztrátum furatai fölött kiterjedjenek és felrepedjenek. Szintén előnyös, hogy az egymást követő szubsztrátumok elég közel legyenek ahhoz, hogy a réteg felvitelére használt, rendszerint rugóval terhelt lamináló hengerek nehogy „leüljenek” a szubsztrátumok között. Ezáltal elkerüljük az egymást követő szubsztrátumok között kinyúló két fotopolimerizálható réteg - vagyis az egymás utáni szubsztrátumok közötti „zsanérok” - egymáshoz tapadását, minthogy egy ilyen összetapadás valószínűleg megakadályozná a vezető él önsoijázását a hordozófilmek eltávolításakor. Egy másik megoldás szerint a lamináló hengerekre gyakorolt nyomás csökkenthető a rétegek összetapadásának megakadályozása végett. Jóllehet a találmány szerinti eljárást az ismertetés szerint folytonos üzemben végeztük, nyilvánvaló, hogy az éppúgy végrehajtható megszakításokkal is. 2. példa A tisztítás fontossága Rézfelületükön ujjlenyomatos, 1. példa szerinti két lapot használtunk fel a következő vizsgálathoz: Az egyik lapot a fentiekben már ismertetett módon megtisztítottuk és megszárítottuk, így a már szintén ismertetett egyenletes vízfilm vizsgálat szerint tisztának minősítettük. A felületek vízzel telített szövettel történő végigsimításával mindkét lap felületére vizet vittünk fel, A tiszta lapon a víz egyenletes vízfilmet képezett, amelyen nem volt látható semmiféle folytonossági hiány. Ezzel szemben a megtisztítatlan lap felületén csíkok voltak. Ezután mindkét lapra rárétegeltük az 1. példa szerinti filmet. A rétegeléshez forró hengerközt alkalmaztunk, melynek felületi hőmérséklete körülbelül 110°C volt „Szalag delaminálási teszt” elvégzése után - mely vizsgálatot az alábbiakban ismertetünk - azt találtuk, hogy a tiszta lapra rétegelt polimer nem válik le, míg az előzőleg nem tisztított lapra rétegelt polimer hajlamos arra, hogy jelentősebb mértékben leváljon. A fentiekben említett „szalag delaminálási teszt” során körülbelül 2,5 x 15 cm-es, Scotch® védjegyű, fekete poli/papír maszk-szalagot erősen rögzítettünk a laminált fényérzékeny felületre, majd az egyik szélénél fogva lehúztuk a felületről. A laminálást nem kielégítőnek minősítettük, ha a fényérzékeny réteg (legalább egy része) a lehúzott szalaggal együtt levált. 3. példa Pozitív fotorezisztens laminálás Fényérzékeny bevonatot állítottunk elő az alábbi módon: Komponens Súlyrész (a) Metil-metakrilátímetakrilsav (92/8) kopolimer, közepes molekulasúly 54,4 (b) T rimetilol-propán-triakrilát 36 (c) 2,2 ’-Bisz(2-klór-fenil)-4,4’, 5,5’--tetrafenil-biimidazol 3 (d) T rietilén-glikol-diacetát 1 (e) Trikrezil-foszfát 3 (0 3-[N-e til-2,3,4-trihidro-1 H-benzo(b)piridin-6-il]-metilidén-2,3-díhidro-4-H-1 -benzopiran-4-on 1 (g) 4,5-Dimetoxi-2-nitro-l -/1 -[4- -(1,1 -dimetil-etil)-fenoxi]-etil/-benzol 0,2 (i) Cl-109 Vörös színezék 0,3 0) Metilén-klorid ] 150 (k) Metanol 11 (1) 1. Példa szerinti polietilén gyöngyök 15 A keverékkel bevontunk egy 0,00127 cm vastag polietilén-tereftalát szövetet, megszárítottuk, így egy 0,00254 cm vastagságú száraz fényérzékeny réteget kapunk. A fényérzékeny réteget megtisztított, rézzel bevont szubsztrátum lapok egyik oldalára rétegeltük, majd önsoijáztuk az 1. példa szerinti módon azzal a különbséggel, hogy a vékony folyadékréteg 30%-os vizes etanol oldat volt. A réteggel ellátott és lesoijázott lapok mindegyikét képpel megvilágítottuk. A megvilágítást úgy végeztük, hogy a lapokat 60 másodpercig UV sugárzásnak vetettük alá, amely egy Colight® DMVL-HP fényforrásból származott, és a sugárzást keresztülvezettük egy nyomtatott áramkör mintájának megfelelő optikai lap fényáteresztő részein. Ezután az optikai lapot eltávolítottuk és egy, a 4000 A alatti hullámhosszú UV sugárzás számára nem áthatolható, és a lapokat 60 másodpercig egyenletesen látható fénnyel világítottuk meg egy Colight® DMVL-HP fényforrásból. Egy 9% etilén-glikol-monobutil-étert és 1% nátrium-borátot tartalmazó vizes oldatttal 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 7
