181212. lajstromszámú szabadalom • Spektrométer modul torzított terű elektrosztatikus elektrospektrométerhez és modulokból álló elrendezés
5 181212 6 Ur potenciálú B belső henger között kialakuló potenciáltér fókuszálja az F detektorba. Az így kialakított modulokból n számút összekapcsolva n-szeresen fókuszáló elektrosztatikus elektronspektrométer állítható elő. 5 Az Mj és 32 M.+ 1 modulok úgy csatlakoznak egymáshoz, hogy tengelyeik egybeesnek és az M; modul fókuszsíkja a K közös pontban egybeesik az Mjti modul forrássíkjával, a 3. ábrán látható módon. 10 A mágneses zavaró hatások kompenzálása itt is, mint sok hagyományos hengertükör típusú spektrométernél, hőkezelt permalloy lemezborítással oldható meg. A hengertükör típusú spektrométereknél előnyös a több fokozatú rendszer alkalmazása (nagyobb disz- 15 perzió, szórt elektronok számának csökkentése). A számítások igazolták, hogy torzított terű hengertükrök is „sorbakapcsolhatók”. Ez kedvezőbb lehetőséget kínál, mint a hagyományos hengertükrök összekapcsolása. Technikailag egyszerűbb feladat pl. 20 két különálló hengertükör elkészítése, mint a kb. 2,5- -szörös hosszúságú hengertükör azonos pontosságú gyártása. Így a spektrométerek modul elemekből felépítve több változatban is használhatók, rugalmas kísérleti lehetőségeket nyújtanak. A külső hengere- 25 ken egymástól kissé eltérő feszültségek is alkalmazhatók, lehetővé téve ezzel a pontatlanságokból eredő elektronoptikai leképzés hibáinak javítását. Ez az elrendezés a két hengertükör közé helyezett minta besugárzása esetén koincidencia mérésekre is lehető- 30 séget nyújt. A találmány szerinti elrendezésű elektronspektrométer előnye a sokoldalú felhasználási lehetőségek mellett elsősorban az, hogy könnyen gyártható, egyszerű elemekből kisméretű, kompakt berendezés építhető, már meglevő nagyvákuumrendszerekhez illeszthető, így pl. különféle felületvizsgáló berendezések (Auger, SIMS) felhasználási területét szélesítheti. Szabadalmi igénypontok: 1. Spektrométer modul torzított terű elektrosztatikus elektronspektrométerhez, mely önmagában ismert külső hengert (C), belső hengert (B), továbbá peremeket (H, 1) tartalmaz, azzal jellemezve, hogy a külső henger (C) mindkét végéhez perem (H) csatlakozik, a résekkel (D) ellátott belső henger (B) mindkét végéhez szintén perem (I) csatlakozik, mely egy síkban van a külső henger (C) peremével (H) és a külső (C), valamint a belső hengerek (B) egytengelyűek. 2. Elrendezés az 1. igénypontban leírt spektrométer modulokból kialakított n-szeresen fókuszáló elektrosztatikus elektronspektrométerhez, azzal jellemezve, hogy több modul (Mj, Mi+1 ) van elrendezve oly módon, hogy az i-edik modul (Mj) fókuszsíkja egybeesik az i+l-edik modul (Mi+1) forrássíkjá-. sál, és az összes modul egytengelyűén csatlakozik egymáshoz. 3 rajz, 3 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 84.4286 - Zrínyi Nyomda, Budapest 3
