180834. lajstromszámú szabadalom • Gázkisüléi kamra elektódja
3 180834 4 fémtest falán, a gázkisülési zóna felőli oldalon legalább egy nyúlvány van kiképezve, a nagy hőmérsékletet tűrő dielektrikumréteg pedig az üreges fémtest alakjához igazodó házból és legalább egy átmenő nyílással ellátott fedélből álló palástként van kialakítva, ahol az üreges fémtest a ház belsejében van elhelyezve, és a fedéllel oly módon van lezárva, hogy az üreges fémtest nyúlványa a fedél fenéklapjában kiképzett nyílásba illeszkedik és színei a fedél külső felületével. Nyúlványként lemezt is lehet alkalmazni. A találmány értelmében célszerű, ha a nyúlványok az üreges fémtest falán hossz- és keresztirányú sorokban elrendezett peckekként vannak kialakítva és a fedél fenéklapjában a peckek számára átmenő furatok vannak kialakítva. A találmány egy további kiviteli alakja értelmében az üreges fémtest egyik végén vakkarimával lezárt és a lezárt végén lemezalakú nyúlvánnyal ellátott hengerként van kialakítva, míg a nagy hőmérsékletet tűrő dielektrikumréteg e hengert körülvevő monolitikus palástként van kiképezve, amelynek a henger nyitott vége felőli szakasza szintén hengeralakú, fenéklapja bedig a lemezalakú nyúlvány számára kiképzett átmenő nyílással van ellátva, amelynek hossza nagyobb, mint a palást belső terének átmérője. Az emittáló felületet célszerű korrózióálló fémréteggel bevonni. A találmány szerinti elektródok előnye az egyszerű szerkezet, bármelyik alkotórészük minőségének ellenőrizhetősége a gyártási folyamat során, valamint működésük üzembiztosságának növekedése. A találmány szerinti elektródok a villamos vákuumtechnikában elterjedt eljárások útján is előállíthatók. A találmány szerinti elektródok a gázkisülési kamrában uralkodó feltételek mellett csekély mértékű gázt fejlesztenek, aminek a gázkisülési kamra működésénél zárt körfolyamatban különös jelentősége van. Az ilyen elektródokból összeállított elektródrendszereknek nagy az üzembiztossága, mivel mindegyik elektród a többitől függetlenül ellenőrzés alatt áll, az egyes meghibásodott elektródok könnyen, az elektródrendszer megbontása nélkül kicserélhetők, végül pedig a gázkisülési kamrában fellépő nyomásváltozások következtében elkerülhetetlen mechanikai deformálódások nem rongálják meg a nagy hőmérsékletet tűrő dielektrikumot. A találmány szerinti elektródok alkalmazása széles teljesítménytartományban felhasználható elektródrendszerek kialakítását teszi lehetővé, ami a tervezés és a gyártás költségeit jelentősen csökkenti. A találmányt részletesebben rajz alapján ismertetjük, amely a találmány szerinti megoldás néhány konkrét, példaként! kiviteli alakját tünteti fel. A rajzon az 1. ábra gázkisülési kamra elektródjának távlati képét mutatja, részben metszetben; a 2. ábra gázkisülési kamra elektródjának másik kiviteli alakját tünteti fel, részben metszetben; a 3. ábra gázkisülési kamra elektródjának további kiviteli alakját mutatja; a 4. ábra gázkisülési kamra elektródjának egy újabb kiviteli alakját tünteti fel, részben metszetben; az 5. ábra az 1—4. ábrákon látható elektródokból kialakított elektródrendszer távlati képét mutatja. A gázkisülési kamrában alkalmazott találmány szerinti elektród felhasználására nézzünk meg egy példát a lézertechnikában mégpedig villamos kisülési lézer előállításánál keresztirányú gázáram segítségével. Amint az az 1. ábrán látható, az elektródnak üreges 1 fémteste van, az 1 fémtest (rajzon föl nem tüntetett) gázkisülési zóna felőli oldalán 2 emittáló felület van kialakítva, emellett pedig hűtőközeg átszivattyúzását biztosító 3 és 4 csonkokkal van ellátva. Az üreges 1 fémtest külső felülete a 2 emittáló felület kivételével nagy hőmérsékletet tűrő 5 dielektrikumréteggel van bevonva. A nagy hőmérsékletet tűrő 5 dielektrikumréteg szokványos eljárással, fóliaként van a felületre felhordva. E célból például zománc vagy alumínium illetve más fém alapú oxidbevonat alkalmazható. Az 1 fémtest 2 emittáló felülete korrózióálló 6 fémréteggel van bevonva. Erre a célra például niobium vagy titán kerülhet felhasználásra. Az elektród 2. ábrán látható kiviteli alakjánál az üreges 1 fémtest falán lemezalakú 7 nyúlvány van kialakítva. A 7 nyúlvány kisülési zóna felé eső felülete képezi itt a 2 emittáló felületet. A nagy hőmérsékletet tűrő 5 dielektrikumréteg az üreges 1 fémtest alakjához igazodó 8 házból és 10 fenéklapjában átmenő nyílással ellátott 9 fedélből álló palástként van kialakítva. Az 1 fémtest a 8 házon belül van elrendezve és a 9 fedél révén oly módon van lezárva, hogy az 1 fémtest 7 nyúlványa a 9 fedél 10 fenéklapjában kiképzett nyílásba illeszkedik és a 7 nyúlvány teteje színei a 9 fedél külső felületével. A gázkisülési kamra elektródját — amint azt a 3. ábra mutatja — úgy is ki lehet alakítani, hogy az 1 fémtest falán hossz- és keresztirányú sorokban 7 nyúlványokként peckek vannak elrendezve. A 9 fedél 10 fenéklapjában a peckek számára 11 átmenő furatok vannak kiképezve. A peckek a 9 fedél 10 fenéklapjának 11 átmenő furataiba illeszkedve színeinek a 9 fedél külső felületével, miközben itt a 2 emittáló felületeket a peckek homlokfelületei alkotják. A 4. ábrán látható kiviteli alaknál a nagy hőmérsékletet tűrő 5 dielektrikumréteg monolitikus 12 palástként van kialakítva. Itt az üreges 1 fémtest egyik végén vakkarimával lezárt hengerként van kiképezve, amelyre lemezalakú 7 nyúlvány van felerősítve. A henger belső tere hűtőközeg átszivattyúzását biztosító 3 és 4 csonkokkal van ellátva, melyek a henger középvonalához képest koaxiálisán helyezkednek el. A monolitikus 12 palástnak az 1 fémtest nyitott vége felőü szakasza szintén hengeres, míg a másik végén a 7 nyúlvány számára kiképzett nyílással van ellátva, amelynek hossza nagyobb, mint a 12 palást belső terének átmérője. A nagy hőmérsékletet tűrő dielektrikumból készült összetett vagy monolitikus palástok szokványos technológiával, például alumíniumoxid bázisú dielektrikumoknál forró iszapöntéses eljárással készülnek. A gázkisülési kamra elektródjainak valamennyi kiviteli alakjánál célszerű a 2 emittáló felületet korrózióálló fémréteggel bevonni, amint azt az 1. ábra is mutatja. Két vagy több, 14 aljzaton elrendezett 13 elektród (amelyek felerősítési módja a rajzon nincs feltüntetve) elektródrendszert alkot, amint az az 5. ábrán is látható. A gázáram valamilyen fajta töltéssel rendelkező elektródrendszer és ellentétes előjelű töltéssel rendelkező 15 elektród között áramlik keresztül. Az elektródrendszer 15 elektródhoz képesti elhelyezkedését a kisülési szakasz határozza meg. Az 1. ábrán látható elektród, amelynek filmszerű védőbevonata van, úgy készül, hogy az üreges 1 fémtestre például zománcréteget vagy alumínium ill. más fém bázisú oxidréteget viszünk fel. A 2. és 3. ábrán látható elektródok, amelyek védőbevonatát nagy hőmérsékletet tűrő 5 dielektrikumréteg alkotja, ragasztóanyag, például töltelékanyaggal kevert epoxidgyanta segítségével építhetők össze, amelyet előzetesen felviszünk az összekötendő felületekre. Ahol a védőbevonat monolitikus 12 palástként van kialakítva (4. ábra) az elektródát kötéssel, például a lemez alakú 7 nyúlvány 1 fémtestre történő forrasztásával állítjuk össze, miután azokat behelyeztük a monolitikus 12 palást megfelelő üregeibe. 5 Í0 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 2
