180834. lajstromszámú szabadalom • Gázkisüléi kamra elektódja
MAGYAR SZABADALMI 180834 NÉPKÖZTÁRSASÁG LEÍRÁS Nemzetközi osztályozás: «Hs Bejelentés napja: 1978. VIII. 9. (LU-235) NSZO3 H 01 J 17/06 Elsőbbsége: 1977. XII. 8. (2 547 951) Szovjetunió ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Közzététel napja: 1982. IX. 28. Megjelent: 1985. VI. 30. f. Szabadalmi Tár. ' .^'S Feltalálók: Lunyev Jevgenyij Ivanovics, gépészmérnök, Trojck, Nyesztyerenko Vladiszlav Mihajlovics, gépészmérnök, Trojck, Jofisz Naum Abramovics, gépészmérnök, Moszkva, Lavrova Zsanna Anatoljevna, mérnök, Moszkva, Bondarenko Alexandr Ivanovics, gépészmérnök, Klimovszk Koszirev Felix Konsztantyinovics, kohómémök, Trojck, Tyimofejev Valerij Alexandrovics, gépészmérnök, Klimovszk, Koszireva Nyina Pavlovna, kohómérnök, Trojck, Blohin Vlagyimir Ivanovics, gépészmérnök, Trojck, Paskin Szergej Vasziljevics, mérnök, Trojck, Szovjetunió Gázkisülési kamra elektródja 1 A találmány tárgya gázkisülési kamra elektródja gázkisüléssel, különösen parázsfénykisüléssel működő szerkezeteknél. A találmány előnyösen alkalmazható plazmakémiai villamos kisülési reaktoroknál, villamos kisülési lézerek keresztirányú gázárammal történő előállításához a lézertechnikában, valamint elektrofizikai gépek és készülékek gyártásához. Ismert olyan gázkisülési kamrában alkalmazott elektród és annak alapján kialakított elektródrendszer, ahol ez utóbbi szigetelőlemezből és azon elrendezett elektródok csoportjából áll. Ennél a megoldásnál mindegyik elektród benyúlik a gázáramba, ahol egyrészt nagy légellenállást fejt ki, másrészt pedig elzárja az átmenő keresztmetszet egy részét. Ezen ismert elektródrendszer huzamosabb üzemnél nem elég megbízható és nem kielégítő a stabilitása. Ismeretes olyan, gázkisülési kamrákban használatos elektród is (1. J. of Physic E: Scientific Instruments, V.4, N.9, Sept. 1971, page 708, „Elektrode configuration and power output for a transverse flow C02-laser”, N. Ben-Josef), amely lényegében üreges fémtest, hűtőközeg átszivattyúzását biztosító csonkokkal, valamint gázkisülés felőli oldalán emittáló felülettel. A fenti elektródelemekből kialakított elektródrendszer két elektródot (anódot és katódot) képez, amelyek között gázt áramoltatnak át. Ez az ismertetett elektródrendszer parázsfénykisüléses üzemű gázkisülési kamrákhoz van előirányozva és maximum 2666,4 Pa nyomásra, valamint maximum 40—50 m/s áramlási sebességre van méretezve. A fenti paraméterek túl-2 lépése esetén a parázsfénykisülés erősen inhomogénné válik, ami igen kedvezőtlen és zavarja az elektródrendszer működését. A gáz energiatartalmának növelését elsősorban az elektródok számának növelésével, valamint az elektródok között átáramoltatott gáz sebességének fokozásával lehet elérni. Mindkettő rontja azonban az elektródok közötti tér gázdinamikai tulajdonságait és igen magas követelményeket állít a gázt áramoltató berendezéssel szemben. A nyomás növelése és a parázsfénykisülés ezzel összefüggő erősen inhomogénné válása csökkentik a működés stabilitását, valamint a rendszer, és ezen belül az egyes elektródák üzembiztosságát is. A találmány célja az elektródok üzembiztosságának és stabilitásának, valamint a gáz energiatartalmának növelése, továbbá cserélhető elektródokból álló üzembiztos elektródrendszer kialakítása. A találmány által megoldandó feladat olyan egyszerű felépítésű, sorozatgyártásra alkalmas elektród, amelyre csereszabatosság és tartós üzemeltetés mellett is nagyfokú üzembiztosság jellemző. A kitűzött feladatot azáltal oldjuk meg, hogy a gázkisülési zóna felőli oldalon emittáló felülettel rendelkező, elektródként kialakított üreges fémtest, amely hűtőközeg átszivatytyúzását biztosító csonkokkal van ellátva, a találmány értelmében külső felületén az emittáló felület kivételével nagy hőmérsékletet tűrő dielektrikummal van bevonva. A nagy hőmérsékletet tűrő dielektrikumréteg célszerűen fóliaként van kialakítva. A találmány célszerű kiviteli alakja értelmében az üreges 5 10 15 20 25 30 180834
