180339. lajstromszámú szabadalom • Interferencia szűrőréteggel bevont szemüveglencse ipari lángbeállító célokra
180.339 4 - mérőüveg 5 - hordozótartó 6 - T10 párologtató forrás /elektronágyús/ 7 - SiO párologtató forrás /ellenállásfütéses/ 8 - recipiens A találmány ismertetése A Maxwell elméletből exaktul levezethető, hogy egy adott hullámhosszra >/4 optikai vastagságban /n d, ahol n a törésmutató, d a rétegvastagság/ váltakozva párologtatott, magas és a* lacsony törésmutatójú abszorpciómentes rétegekkel,'a rategSzám és a törésmutatók arányától függően tetszőleges reflexió erhet| el az adott hullámhosszon. Ugyanígy a nagyreflexióju sáv szélessége is a törésmutatók arányának függvénye. Találmányunk lényéggé abban áll, hogy a fenti Ismert törvényszerűségeket eddig meg nem oldott probléma megoldására használtuk fel. Felismertük, hogy az lnterferenciaretegek kiválóan alkalmasak lángbeállitó szemüvegek reflektáló /szűrő/ bevonatának készítésére. így ténylegesen fennálló igényt elégítünk ki uj módszerrel, mely mindem eddigi módszernél hatásosabb és eredményesebb# __________ Ugyanakkor a TiO forrásanyagból 0« atmoszférában reaktiv van párologtatott réteg áteresztőképessége széles tartományban változtatható az Op nyomás csökkentesével, és csökkenthető a nagyreflexióju sávnnelletti áteresztési tartomány transzmissziója. A teljes feloxidáláshoz /TiOg/ a 2,5 x 10-2 pa o2 nyomást állapítottuk meg, míg a részleges feloxidáláshoz a 7 x 10”3 Pa Og nyomást, amely a TigOj és Ti^O^ fázisok keverékének felel meg. A részlegesen feloxidált réteg vastagságának növelésével csökken annak transzmissziója. Az alábbiakban konkrét példa segítségével mutatjuk be találmányunk megvalósítási módját,.miközben hangsúlyozzuk, hogf találmányunkat nem korlátozzuk a példára. Megvalósítási példa UaD vonalra hangolt szemüveglencse bevorat készítése A nagy törésmutatójú Ti02 /Hg « 2,3/ és a kis törésmuta*tóju SiOp /ru » 1,4-5/ egymásra párologtatása esetén, ha a rétegvastagságok ■“a kiszűrni kívánt hullám hosszának negyedrészével egyenlők, akkor 15 rétegű bevonattal mintegy 99,5 % reflexió érhető el. >q/4 = 589/4 nm optikai rétegvastagságú Ti02/Si02 rétegekből 14-szeres réteget készítünk az 1, ábra szerint. A 15. réteg vastagsága 0,1 ^tun, összetétele pedig Ti2°3+Ti3°5* A rétegrendszer készítését nagyvákuum párologtatási módszerrel végezzük. 700 mm átmérőjű reoipiensben elektronágyua és elleni állásíütesü párologtató forrásokkal. A párologtató fel van sze*. reive kvarokristályos és optikai rétegvastagsagmérő rendszerre^. A berendezés vázlatos rajzát a 3* ábra mutatja. A TiOo rétegek felvitele Op atmoszférában végzettTM elektronágyus T10 párologtatással, a Si02 rétegeké pedig ugyancsak Op atmoszférában végzett ellenállásffttósü SiO párologtatással történik. A párologtatási paraméterek* Pf a 2,5.10“2 Pa Hordozó hőmérséklet* 300 °C Hangolási hullámhosszt 589 om Párologtatási sebesség 1,5 nm/a 4
