180115. lajstromszámú szabadalom • Kapcsolási elrendezés vezérelt diódás kapcsolók működtetésére
rl }! 180115 Az 1« ábrán egy 10 VDK elrendezés előnyös kiviteli alakja látható, melyben egy 11 felülettel rendelkező 12 hordozó va£, valamint egy félvezető egykristály 16 test, amely p- vezetési típusa és a 12 hordozótól dielektromos Iá réteggel van elválasptva. Egy helyi p+ vezetési tipusu anód 18 tartomány van a 16 tettben és olyan résszel rendelkezik, amely eléri a 11 felületet. Egy n+ vezetési tipu3u vezérlő 30 tartomány és egy n+ vezetési tipusu helyi katód 24 tartomány szintén a 16 testben van. Egy p vezetési tipusu 22 tartománynak olyan felülete van, mely eléri a 11 felületet, körülfogja a katód 24 tartományt és a kiürített réteg átlyukadása elleni védelemként működik. Ezen túlmenően arra is szolgál, hogy megakadályozza a 16 test részeinek inverzióját a 11 felületnél vagy annak környékén, a 20 és 24 tartomány között. A vezérlő 20 tartomány az anód 18 tartomány és a 22 tartomány között helyezkedik el, és azoktól a 16 test főtömege választja el. A 18, 20 és 24 tartományok ellenállása viszonylag alacsony a 16 test ellenállásához viszonyítva. A 22 tartomány ellenállása a katód 24 tartományé és a 16 testé között van. A 28, 50 és 52 elektródok vezetők, amelyek kisellenállásu kontaktusokat képeznek a 18, 20 illetve 24 tartományok felületi részeihez. A 11 felületet egy nagyobb dielektromos 26 réteg fedi úgy, hogy elszigeteli a 28, 30 és 52 elektródokat minden olyan tartománytól, melyeket nem akarunk elektromosan érintkeztetni. Egy 56 elektród kisellenállásu kontaktust képez a 12 hordozóhoz egy erősen szennyezett 34 tartományon keresztül, amelynek vezetési tipusa megegyezik a 12 hordozóéval. Célszerűen a 12 hordozó és a 16 test egyaránt szilíciumból állnak, és a 12 hordozó akár n, akár p vezetési tipusu lehet. A 28, 30 és 32 elektródok mindegyike célszerűen tulfedl azon félvezető tartományt, melyhez kisellenállásu kontaktust létesít. Ez a tulfedés, amely tér árny ékolás ként ismert, javítja a nagyfeszültségű működést, mivel megnöveli a letörést feszültséget. Számos különálló 16 test létrehozásával egy közös 12 hordozón, több kapcsoló alakítható ki. A 10 VEK elrendezés általában olyan kapcsolóként működik, amelynek kis ellenállása van az anód 18 tartomány és a katód 24 tartomány között BE /vezető/ állapotban és nagy ellenállása vap a két 18 és 24 tartomány között KI /zárt/ állapotban. A vezérlő 20 tartományra adott potenciál meghatározza a kapcsoló állapotát. Az anód 18 tartomány és a katód 24 tartomány között vezetés jön létre* ha a vezérlő 20 tartomány potenciálja alacsonyabb az anód 18 tartomány és a katód 24 tartomány potenciáljánál. BE állapotban lyukakat injektálunk a 16 testbe az anód 18 tartomá-* nyábol és elektronokat juttatunk a 16 testbe a katód 24 tartó' - mányból. Ezen lyukak és elektronok elegendő számban lehetnek ahhoz, hogy plazma jöjjön létre, amely vezető állapotba hozza a 16 testet. Ez hatásosan csökkenti a 16 test ellenállását, annyira, hogy az anód 18 tartomány és a katód 24 tartomány közötti ellenállás a 10 VDK elrendezés BE állapotában viszonylag alacsony. Az ilyen tipusu működést kettős töltéshordozó injektálásnak nevezzük. A 22 tartomány korlátozza a vezérlő 20 tartomány és a katód 24 tartomány között a működés közben kiürülő réteg átlyukadását és elősegíti egy gátló felületi inverziós réteg kialakulását a 20 és 24 tartomány között. Ezen túlmenően elősegíti az 3
