179377. lajstromszámú szabadalom • Eljárás infravörös sugárzást csökkentő bevonat készítésére elektromos fényforrásokhoz
7 179377 8 4. példa „Hidegfényű” reflektorburás lámpa (1. ábra) készítése úgy, hogy a lámpa 4 „kilépő ablakán” önmagában ismert 5 antireflexiós fémréteg szolgál 5 infravörös reflexiós rétegként. A fémrétegek azonban a látható hullámhossztartományban is erősen reflektálnak, így a lámpa látható fényre vonatkozó lumen/watt értéke is nagyon rossz. Ennek elkerülésére a látható fényre nézve reflexiót csökkentő rété- 10 get kell létrehozni a fém vékonyrétegen. Az eljárás a következő: A 4 „kilépő ablakot” képező keményüveg tárcsákat 25 tárgytartóba helyezzük úgy, hogy közöttük legalább 100 mm távolság 15 legyen. Az elrendezést a 3. ábra mutatja. A 25 tárgytartót a 26 reakciócső 350°C-ra felfűtött hőzónájába tolva a 27 ajtót lezárjuk, majd a szivattyúzás megindítása után a reakciócsövet 1 Pa nyomásra leszivattyúzzuk. Ezután molibdénhexakar- 20 bonil (Mo/CO/6) gázt vezetünk a 26 reakciócsőbe :i • 10~3 mol/perc intenzitással, miközben a szivattyú szívónyílásába annyi N2-t vezetünk, hogy a ieakciócsőben a nyomás 150 Pa legyen. A Mo rétegleválasztást 10 percig folytatjuk, aminek eredménye- 25 ként kb. 100 nm vastag Mo réteg keletkezik (1. ábrán, 5). A Mo(CO/6) gáz adagolását megszüntetve a reakciócsövet 1 Pa nyomásra leszívattyúzzuk, majd SiH4 és NH3 gázt vezetünk a 26 reakciócsőbe. 3Q 3 • 10*3, illetve 5 • 10"s mól/perc sebességgel. Közben a 26 reakciócsőben 80 Pa nyomást állítunk be megfelelő mennyiségű N2 gáz bevezetésével. A 26 reakciócsőben plazmakisülést hozunk létre 230 W teljesítménnyel, melynek eredményeként mintegy 35 130 nm vastag 6 szüíciumnitridréteg keletkezik 30 perces rétegleválasztás után. A reakciógázok lezárása ét. a plazmakisülés megszüntetése után a 26 reakciócsövet N2-el külső nyomással megegyező nyomásra feltöltjük. A 27 ajtó kinyitása és a 25 tárgytartó 40 kihúzása után a Mo és Si3N4-el bevont 4 kilépő ablakokat (keményüveg tárcsákat) rendeltetésszerűen felhasználjuk, vagy amennyiben a mindkét oldalon jelenlevő bevonatok zavart okoznak, a külső oldali réteget lemaijuk. A szilíciumnitrid réteg lemarása 180 °C hőmérsékletű tömény foszforsavaidattal elvégezhető, utána a Mo réteg lúgos perhidrd oldattal távolítható el. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás infravörös sugárzást csökkentő bevonat készítésére elektromos fényforrásokhoz, azzal jellemezve, hogy a lámpából kijövő fény útjába kémiai gőzfázisú rétegleválasztással szilíciumnitrid réteget (6) iktatunk be. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatos!tási módja, azzal jellemezve, hogy a szilíciumnitrid réteg (6) gőzfázisú leválasztását alacsony nyomáson, célszerűen 5000 Pa alatt végezzük. 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a szilíciumnitrid rétegen (6) kívül antireflexiós réteget is alkalmazunk. 4. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy szilíciumnitrid réteggel (6) vonjuk be a kilépő ablak (4) felületét és utána forrasztjuk össze a lámpakónússzál (1). 5. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy gázkisülőlámpák készítésénél a szilíciumnitrid réteget (6) a gázkisülőedény (kvarctest) (16) falára választjuk le. 6. A 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az antireflexiós réteg szüíciumdioxid. 7. A 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a szilíciumnitrid infravörös sugárzást csökkentő bevonatot fém antireflexiós réteggel együtt alkalmazzuk. 8. A 7. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az antireflexiós fémréteg (5) molibdén. 3 rajz, 3 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 83.4062 - Zrínyi Nyomda, Budapest 4
