179362. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető eszközök dinamikus jellemzőinek módosítására ionizáló besugárzás útján
3 179362 4 tag szilíciumlapka, amely kompenzáló molibdén alátéthez van rögzítve és külső behatások dien passzíváié lakkal van bevonva. Ezen struktúra nyitófeszültsége minimális értékű. A kezelés céljából kiválasztott struktúrát hőre zsugorodó műanyagfóliába zárjuk, és az így elkészített csomagocskát alumínium tartályba helyezzük, majd konvejor pályán elektron sugár alá vezetjük. Az említett elektron sugár lineáris gyorsulású elektronokból áll. Az elektronforrás és a struktúra között (amelyet besugárzónk) egy alumínium chopper van rögzítve, amely 15 mm vastag. Kezdetben az elektronsugár nagysága lOMeV és az abszorbeált sugár dózis 3—8 KGy határok között van. Ez az érték a kívánt lezárási idő szerint állítható be. Az elektronsugarat elektromágneses úton vezérlik síkban kb. 500 Hz-es frekvenciával, amely a konvejor előhaladása során kb. 10%-os pontossággal egyenletes besugárzást biztosít. Az abszorbeált dózis mértéke kalometrikus méréssel határozható meg a kezelés előtt, és után., így valamennyi struktúra-adag részére a szükséges dózis dozimetriai fóliával ellenőrizhető. A besugázás után a félvezető eszközt hőkezelésnek vetjük alá, amelyet vákuumban végezünk 250 °C hőmérsékleten 2 óra hosszat. 5 Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás félvezető eszközök dinamikus karakterisztikáinak módosítására ionizáló besugárzás útján, azzal jellemezve, hogy a besugárzást kevert korpuszig kuláris-elektromágneses sugárzással végezzük, amelynek során a legkisebb nyitófeszültségű félvezető struktúrát váasztva azt elemi részecskéket tartalmazó sugárzással és egyidejű elektromágneses sugárral is kezeljük. 15 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a korpuszkuláris besugárzást elektronsugárzással végezzük, amelynek kezdeti energiája 3-18 MeV. 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási 20 módja, azzal jellemezve, hogy az elektromágneses sugárzás olyan szekunder röntgensugárzás, amelyet az elektronsugámak 10-30 rendszámú, vastag chopper anyagból való szekunder emissziójaként hozunk létre. 25 A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 83.4061 — Zrínyi Nyomda, Budapest
